판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9251464

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9251464
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
CVD System, 12" 2002 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 광범위한 반도체 생산 프로세스를 처리하도록 설계된 공정 원자로입니다. 원자로는 높은 처리량, 높은 듀티 사이클 (Duty Cycle) 및 낮은 다운타임을 특징으로하여 반도체 생산에 이상적인 솔루션입니다. AMAT 생산자 SE 는 프로세스 최적화를 위한 고급 제어 장비를 갖추고 있으며, 최대 20 메가와트의 전력을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 부식성이 강하고 최대 열 효율성을 제공하는 쿼츠 챔버 (quartz chamber) 를 사용합니다. 이 약실은 유도 가열 코일 (induction-heating coil) 을 특징으로하며, 이는 생산 요구를 지원하기 위해 짧은 시간에 엄청난 열을 발생시킵니다. 챔버에는 압력 센서 (pressure sensor) 와 가변 가스 흐름 제어 (variable gas flow control) 가 있어 최적의 프로세스 결과를 위해 꾸준한 환경을 유지할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 생산 자재 (production material) 로 설계되었으며, 효율적인 프로세스 전환을 위해 변경될 수 있습니다. 또한 다수의 원자로 구성, 최대 5 개의 현장 부하 잠금 장치 및 최대 2 개의 후처리 스테이션이 가능합니다. APPLIED MATERIALS Producer SE 는 고급 자동화 및 제어 기능도 제공하며, 이를 통해 생산이 더욱 효율적으로 수행됩니다. 이 기계는 압력, 온도, 가스 흐름, 웨이퍼 방향, 위치 등 다양한 프로세스 모니터링 및 제어 도구를 지원합니다. 생산자 SE는 인력 안전, 경보 시스템, 보호 액세스 제어를 위한 밀폐형 챔버 (enclosed chamber) 와 같은 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. 이 도구는 ALD (Atomic Layer Deposition) 를 포함하여 에치 및 증착 프로세스 응용 프로그램을 모두 사용할 수 있습니다. 모든 프로세스 단계는 유연성을 위해, 그리고 운영 프로세스를 최적화하기 위해 프로그래밍됩니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 광범위한 생산 프로세스를 안전하고 효율적으로 처리하도록 설계된 고급 반도체 생산 원자로입니다. 높은 처리 속도, 높은 듀티 사이클 (Duty Cycle), 낮은 가동 중지 시간, 꾸준한 환경 유지, 고급 자동화/제어 기능 제공 자산은 ALD를 포함한 etch 및 deposition 프로세스 응용 모두에 이상적입니다.
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