판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9251462

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (AMAT Producer SE) 는 반도체 장치의 제조에 사용되는 단일 웨이퍼 원자로입니다. 반도체· 연관 소자의 소재층 증착 (deposition of layers) 과 관련한 응용을 위해 특별히 제작된 수직로 원자로다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 산화물, 질화물, 탄화물 및 비정질 실리콘과 같은 화합물 물질을 포함한 다양한 증착 물질을 지원할 수 있습니다. 기본 압력은 5x10-6 torr 미만이고 챔버 크기는 4 "입니다. 또한 고급 세라믹 재료로 만든 쿼츠 챔버 (quartz chamber) 와 난방판 (heating plate) 이 장착되어 있습니다. 가열판은 최대 1200 ° C 온도와 온도 경사, 선형 방정식 또는 개별 단계를 지원할 수 있습니다. 열 제어는 사용자에게 친숙한 것으로 50 ° C ~ 1200 ° C 범위입니다. 또한 웨이퍼에 균일 한 증착을 보장하기위한 회전 척 (rotating chuck) 이 장착되어 있습니다. 생산자 SE의 주요 기능은 신뢰성과 반복성입니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 는 세라믹 난방 요소와 모델 제어 온도 프로파일을 사용하여 정확한 온도 조절을 통해 일관된 프로세스 결과를 보장합니다. 또한, 챔버는 아웃가스 속도가 낮으며 작동 전에 베이크 아웃이 필요하지 않습니다. 이 장비에는 자동 (automatic) 종단점 감지 (End-Point Detection) 기능이 있어 시스템 프로세스의 성공을 보장하고 광범위한 재료를 프로그래밍할 수 있습니다. 또한이 장치에는 통합 가스 관리 머신이 있습니다. 이는 프로세스 동안 정확하고 안정적인 가스 배달을 보장하는 데 도움이됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체 및 장치 응용 프로그램을 위한 강력한 도구입니다. 즉, 정확한 프로세스 제어를 제공하고, 낮은 TCO (소유 비용) 를 수반하며, 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 광범위한 증착재 (deposition materials) 에 사용할 수 있으며, 반복 가능하고 성공적인 웨이퍼 (wafer) 처리 솔루션이 필요한 사람들을 위한 강력한 솔루션입니다.