판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9240191

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체 웨이퍼 제작을 위해 반도체 업계에서 사용하도록 설계된 원자로 유형입니다. 그것 은 열화 된 "소오스 '," 가스' 배달 장비, 전극 "시스템 '및 여러 가지" 가스' 처리 를 할 수 있는 진공실 로 구성 되어 있다. AMAT 생산자 SE는 실리콘 산화물, 폴리 실리콘 및 관련 재료의 화학 증기 증착을 위해 핫 필라멘트 유닛을 사용합니다. 필라멘트의 열 표면은 휘발성 화학 물질의 분해를 허용하기 위해 필요한 온도 (일반적으로 600 ° C) 로 가열됩니다. "증기 '가 충분 히 분해 된 후 에, 그 들 은 제어 된 압력 과 유속 으로 진공실 에 유입 되어" 웨이퍼' 표면 에 증착 된다. 원천과 전극은 챔버 내에서 결합 된 가스 환경의 균일 성을 유지하는 데 도움이됩니다. 전극에는 두 가지 기능이 있습니다. 하나는 음의 DC 바이어스 전압 (negative DC bias voltage) 을 유지하는 것으로 증착 과정을 지원하며, 다른 하나는 올바른 챔버 압력을 유지하는 것입니다. 가스 전달 머신은 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller), 가스 매니 폴드 (Gas Manifold) 및 원격 또는 통합 밸브를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. "가스 매니폴드 '는 질량 의 흐름" 컨트롤러' 로부터 "가스 '를 모아" 챔버' 로 전달 하고 "밸브 '는" 가스' 압력 을 조정 하는 데 사용 된다. 마지막으로, 열화 된 필라멘트 도구는 증착 과정의 속도, 안정성 및 균일성을 높이는 데 도움이됩니다. 열화 된 "필라멘트 '는" 필라멘트' 의 열 구배 를 감소 시키도록 설계 되었는데, 이것 은 더 빠르고 균일 한 증착률 을 만들어 내는 데 도움 이 된다. 응용 재료 생산 업체 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 는 실리콘 산화물, 폴리 실리콘 및 관련 물질을 반도체 웨이퍼에 증착하도록 설계된 강력한 원자로입니다. 열화 된 소스, 가스 전달 자산, 전극 모델 및 진공 챔버로 구성됩니다. 열화 된 필라멘트 (filament) 장비는 챔버 내에서 균일 한 열 구배 및 가스 압력을 유지하는 데 도움이되고, 전극은 균일 한 증착 과정에 필요한 DC 바이어스 전압을 제공한다. 이러 한 모든 특징 들 이 결합 되면, 이 원자로 는 "반도체 '" 웨이퍼' 제조 를 위한 효율적 이고 다목적 인 도구 가 된다.