판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9239732
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ID: 9239732
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
CVD System, 12"
Process: ACL
Sub process: HT ACL
SMIF / FOUP
(2) Twin chambers
Chemical: C3H6, NF3
AC Rack
EFEM
Rear monitor
Monitor rack
FFU Panel
Signal cable box
Load module:
(2) Load ports TDK E4
BROOKS MAC8 Loader arm
ALCATEL A100L Dry pump
Transfer module (Platform):
Transfer arm (Robot) BROOKS MAG8
ALCATEL A100L Dry pump
Process module:
(2) Chambers
(2) ALCATEL ADS 1202H Pumps
(2) NPP NPR-S10L RF Generators
(2) Gas boxes
(3) IBM X306 PC
Utility:
Distribution panel
ETC
Gases: CH36, NF3, N2, AR, HE
Operating system: Windows
2007 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (기판 전극) 는 기판 표면에 전기 전도성 물질을 적용하도록 설계된 반도체 제조 도구입니다. 그것 은 전기 화학 증착 - 액체 의 전기 분해 능력 - 기판 에 고체 물질 을 증착 시키는 - 을 이용 하여, 균일 하고, 정확 한, 정밀 한 전도 물질 층 의 일관성 있고, 신뢰성 있고, 매우 반복 할 수 있는 증착 을 이룬다. AMAT Producer SE에는 증착 과정에 일관된 환경을 제공하는 클린 룸 등급 챔버가 있습니다. 표적 전극 (양극) 은 전해질 용액 으로 가득 찬 함유 된 부면 의 기판 보유기 (음극) 바로 위 에 위치 해 있으며, 고전류 는 용액 을 통해 구동 되어 원하는 물질 의 전기화학적 증착 을 가능 케 한다. 응용 재료 생산 업체 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 는 액체 전해질을 배치 작업으로 오염 및 증발로부터 보호합니다. 또한 자동화된 작동과 어셈블리 라인과의 통합에 적합합니다. 균일성을 위해, 챔버 (chamber) 는 동요 기능과 감동적인 패들 (paddle) 을 사용하여 대상 기판의 균일 한 재료 분포를 촉진합니다. 각 프로세스의 주기 시간 (cycle time) 은 매우 신뢰할 수 있으므로 증착 주기 동안 변수를 계산하거나 조정할 필요가 없습니다. 적용 된 재료 (applied material) 의 특성도 매우 재현 가능하며, 응용 프로그램의 날카로운 기하학적 제어를 통해 얇고 단단한 모양의 피쳐를 생성할 수 있습니다. 이 도구는 미크론의 해상도와 정확도도 가지고 있습니다. APPLIED MATERIALS/Producer SE (APPLIED MATERIALS/Producer SE) 는 빠른 주기 및 온도 조절 능력에서 향상된 처리 능력을 위해 추가 비활성 가스를 사용하는 등 다양한 기능을 갖춘 강력한 고급 ECD (Electrrochemical Deposition) 시스템을 제공합니다. 또한, 이 도구는 구리, 금, 알루미늄 및 기타 다양한 금속 산화물과 같은 광범위한 재료를 통해 고품질, 반복 가능, 재생 가능한 결과를 얻을 수있는 효과적인 방법입니다. 프로세스 복잡성을 높이려면 etchback, etch stop, planarize 및 edge bead deposing을 지원하는 기능을 통해 프로세스 반복성을 높일 수 있습니다. 이 시스템은 AMAT/APPLIED MATERIALS 고객 서비스 파트너 인 Enviro-Tech에서도 유지 관리 및 서비스됩니다. Enviro-Tech는 AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE 시스템에 대한 고급 진단 루틴 유지 관리 및 수리를 조합하여 사용합니다. 이러한 서비스는 툴의 최고 성능과 일관된 프로세스 성능을 유지하는 데 도움이 됩니다. 또한 Enviro-Tech 엔지니어는 시스템 사용에 대한 교육을 제공하고 AMAT Producer SE를 통해 새로운 증착 레시피를 개발합니다.
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