판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9235103

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9235103
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
CVD System, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 메모리 생산, 전력 관리 및 기타 고급 반도체 장치를 위해 특별히 설계된 강력한 단일 웨이퍼, 고온 에피 택시 원자로입니다. 고온 에피 택시 재료 증착율 생산을위한 탁월한 생산성을 제공합니다. AMAT Producer SE는 빠른 웨이퍼 냉각 및 빠른 열 램핑을 통해 최대 16kW의 높은 열 부하를 제공합니다. 공정 온도, 압력, 가스 흐름을 정확하게 제어하여 재생성을 극대화하고 공정 결함이 적게 발생하도록 설계되었습니다. 또한 소프트웨어 제어 지원 받침대 (software control support pedestal) 는 서셉터와 웨이퍼 모서리 사이의 스탠드 오프 거리를 항상 일정하게 유지하여 재생성 가능한 결과를 제공합니다. APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 는 처리량을 극대화하고 일관된 웨이퍼 균일성을 제공하는 단일, 클로즈 커플 링, 벨 항아리 설계를 통해 대용량 하드웨어 안정성과 가동 시간을 제공합니다. 단일 고리 형 고류 이온 소스는 유전체 및 실리콘 필름의 일관된 도핑을 가능하게한다. 이 시스템에는 챔버 전체의 프로세스 및 안전 규제를 보장하기 위해 고급 이중 방사선 센서 (Dual Radiation Sensor) 가 장착되어 있습니다. 생산자 SE는 배기 공기에서 휘발성 유기 화합물 (VOC) 을 제거하기위한 통합 스크러버를 포함합니다. 내장 스크러버는 간단하고 안전하며 안정적인 작동을 위해 설계되었습니다. 그것 은 대기 오염 을 감소 시킬 뿐 아니라, 불순물 이 방 에 들어오는 것 을 방지 하는 역할 을 한다. AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE는 매우 안정적이고 강력한 단일 웨이퍼 고온 에피 택시 원자로입니다. 공정 온도, 압력, 가스 흐름을 정확하게 제어하여 최대 재생성 및 낮은 공정 유발 결함을 통해 고온 물질 강착 속도 (high-temperial material deposition rate) 생산에 대한 탁월한 생산성을 제공합니다. 통합 스크러버 (scrubber) 는 안전하고 안정적인 작동을 보장하며, 이중 방사선 센서는 챔버 전체에서 프로세스 및 안전 조절을 가능하게합니다. AMAT Producer SE는 메모리 구축, 전력 관리, 기타 고급 반도체 장치 구축 여부에 상관없이 탁월한 성능을 제공합니다.
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