판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9229583
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9229583
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
CVD System, 12"
UV Cure & SiN
FI: 5.3
FI Robot: KAWASAKI
Chamber A: Nano cure (UV Cure)
Chamber B: BD (Black diamond)
Chamber C: Blok (Barrier low-k)
Gas: IGS Type
Chamber A:
Gas / Model / Flow
Ar / UFC-8565 / 30slm
He / UFC-8565 / 30slm
Chamber B:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 2slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
TMS / UFC-8565 / 750cc
He / UFC-8565 / 5SLM
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 10slm
Chamber C:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 3slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
O2 / UFC-8565 / 10slm
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 5slm
UV Power supply rack: ASTEX Generator
Missing parts:
Vacuum EV
PC
Flex controller unit
Chamber B & C:
Heater power filter
Chamber IO Controller unit
Lid assy
MF Motion controller CPU board
LFC:
(2) mDEOS
(2) ATRT
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 현재 시장에서 사용 가능한 최고 품질의 원자로 중 최신 제품입니다. 이 단일 웨이퍼, 자동 플랫폼은 반도체 장치 제작을 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 그것 은 "실리콘 '," 게르마늄', 비소 및 "갈륨 '비소 를 포함 하여 매우 다양 한 물질 을 만들어 낼 수 있으며, 뛰어난 공정 조절 능력 과 높은 재생성 을 가지고 있다. AMAT Producer SE의 디자인은 챔버 전체에서 뛰어난 온도 조절 및 균일성을 제공합니다. 독특한 공기 열 시스템으로 구축 된 APPLIED MATERIALS Producer SE는 정확하고 일관된 온도를 보장합니다. 이렇게 하면 인상적 인 정확 하고 반복 할 수 있는 결과 가 나오며, 또한 "웨이퍼 '기판 을 처리 하는 데 민감도 가 떨어진다. 또한 여러 계층을 동시에 생산할 수 있으며, 리드 타임을 돕고 품질을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 라인 내장 PC 및 직관적인 소프트웨어의 상단이 Producer SE 시스템의 핵심입니다. 이 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 명령과 추가 작업에 대한 액세스를 제공합니다. 이 소프트웨어는 엔지니어링 팀이 프로세스 (process) 를 쉽고 효율적으로 만들고 반복할 수 있도록 설계되었으며, 향상된 수율을 위해 프로세스를 최적화하도록 설계되었습니다. 또한 SE 의 10,000 개 이상의 레시피 사용을 최적화하는 통합 레시피 관리 기능을 제공합니다. 안전에 관해서는, AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE에는 과열 및 압력 보호, 보로실레이트 뷰포트 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. borosilicate 창에서는 프로세스를 완전히 볼 수 있으므로 레시피를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. AMAT Producer SE는 또한 일일 유지 보수 프로그램을 통해 일관된 운영을 보장합니다. 무엇보다도 APPLIED MATERIALS Producer SE는 예외적이고, 광범위하게 받아 들여지고, 사용자 친화적 인 원자로입니다. 견고한 디자인, 안전 (Safety) 기능, 사용자 친화적인 소프트웨어의 강력한 조합으로, 고품질의 재료 생산을 위한 안정적인 선택입니다. 또한 높은 처리량, 효율적인 운영, 고급 프로세스 최적화를 지원하여 비용을 절감할 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다