판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215469

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 고객이 더 얇은 풀 웨이퍼 및 균일 한 필름 증착을 달성 할 수 있도록 설계된 반도체 원자로입니다. 원자로는 수퍼 집적 회로 및 고급 메모리 장치를 생산하는 데 이상적입니다. 원자로는 높은 수준의 공정 제어를 사용하여 안정적이고 반복 가능한 웨이퍼를 보장합니다. 공정 챔버는 내구성과 손쉬운 재구성을 위해 스테인리스 스틸 라이너 (stainless steel liner) 로 제작되었습니다. 챔버는 또한 산업 등급 진공 시스템과 절연 창문을 통합합니다. 이 단열은 에너지 손실을 감소시켜 프로세스 제어를 향상시킵니다. 챔버는 또한 향상된 웨이퍼 로딩/언로딩 및 더 나은 기판 사전 정렬을 제공합니다. 프로세스 챔버에는 다양한 웨이퍼 런 (wafer run) 간에 최적의 클리닝을 보장하기 위해 비활성화 기 (deactivator) 가 장착되어 있습니다. 이 도구에는 회전 비활성화 시스템 (rotating deactivation system) 과 정적 비활성화 장치 (static deactivation unit) 가 있는 고급 이중 영역 제어 장비가 있습니다. 이 머신은 최고의 프로세스 레시피 (recipe) 를 가능하게 하며, 이를 조정하여 최대의 수익률과 성능을 얻을 수 있습니다. 원자로에는 웨이퍼-웨이퍼 (wafer-to-wafer) 공정에서 오염 위험을 줄이기 위해 분리 된 구역이 장착되어 있습니다. 구성 가능한 제어 아키텍처를 갖춘 고급 현장 플라즈마 발전기가 특징입니다. 이 내부 플라즈마 기능은 웨이퍼 클리닝 (wafer cleaning) 과 관련된 변수의 양을 줄임으로써 공정 수율을 증가시킵니다. 원자로의 뜨거운 벽 디자인은 낮은 열 구배로 높은 온도를 달성합니다. 작은 기판에서 정확한 온도 조절을 제공하며, 큰 기판에서 우수한 열 균일성을 생성합니다. 뜨거운 벽은 또한 에너지 사용의 효율성을 향상시킵니다. AMAT 생산자 SE 원자로에 사용 된 진공 공구는 정확한 진공 조건에서 웨이퍼를 처리합니다. 진공 자산은 터보 펌프, 로터리 베인 펌프, 기계식 부스터 펌프의 조합을 사용합니다. 이 조합은 높은 수준의 프로세스 안정성과 반복 성을 보장합니다. 원자로 (Reactor) 에는 실시간 진단 및 데이터 액세스를 제공하는 고급 원격 모니터링 모델이 장착되어 있습니다. 또한 상세한 프로세스 로그를 제공하여 작업을 간소화하고 장비 성능을 유지합니다. 원격 모니터링 장비는 문제 해결 및 프로세스 최적화를 개선합니다.