판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215461
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판매
ID: 9215461
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
CVD System, 12"
FI Robot: KAWASAKI (Vacuum EV missing)
Chamber A: Nano cure (UV Cure)
Chamber B: BD (BlackNN diamond)
Chamber C: Blok (Barrier low-k)
Gas: IGS Type
UV Power supply rack: ASTEX Generator
Chamber A:
Gas / Model / Flow
Ar / UFC-8565 / 30slm
He / UFC-8565 / 30slm
Chamber B:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 2slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
TMS / UFC-8565 / 750cc
He / UFC-8565 / 5SLM
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 10slm
Chamber C:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 3slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
O2 / UFC-8565 / 10slm
He / UFC-8565 /12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 5slm
Missing gas for chamber B & C:
mDEOS
ATRP
Missing parts:
PC
Flex
Controller unit
MF Motion controller CPU board
LFC (mDEOSx2, ATRTx2)
Chamber B&C:
Heater power filter
Chamber IO controller unit
Lid assy
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 높은 처리량 생산 및 비용 절감을 위해 설계된 차세대 원자층 증착 시스템입니다. 독특한 모듈 식 아키텍처, 고흡수 프로세스 챔버, 웨이퍼 균일 성을 높이기 위한 제어 알고리즘이 특징입니다. 따라서 품질이 저하되지 않고도 처리 속도가 빨라지고 비용을 절감할 수 있습니다. AMAT Producer SE의 모듈식 아키텍처는 웨이퍼 두께의 균일성을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 즉, 모든 운영 볼륨 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 제공합니다. 독보적인 멀티 존 (multi-zone) 설계를 통해 병렬 원자로 제어 및 프로세스 매개변수의 유연성을 높여 처리량을 높일 수 있습니다. 또한 3 차원 균일 성 향상을 위해 복잡한 원자로 전원 프로파일을 구성 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE의 고흡수 프로세스 챔버는 웨이퍼 균일 테스트 중 왜곡을 최소화하는 데 도움이됩니다. 그것 은 "웨이퍼 '에 걸쳐 질화물, 산화물 및 기타 물질 을 균일 하게 증착 시킬 수 있다. 이 시스템에는 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있는 온보드 컴퓨터 컨트롤러도 있습니다. 따라서 안정성과 재현성이 향상되고, 운영 매개변수 간에 신속한 전환이 가능합니다. 생산자 SE는 또한 웨이퍼 두께 균일성을 보장하기 위해 고급 제어 알고리즘을 제공합니다. 여기에는 증착 재료 특성을 정교하게 제어 할 수있는 멀티 존 (multi-zone) 공역 반사 시스템이 포함됩니다. 또한 응력 관리 (stress management) 및 측벽 프로파일 제어 (sidewall profile control) 와 같은 증착 후 처리에 사용할 수 있습니다. 이것은 웨이퍼 전체에서 균일성을 보장하는 데 도움이됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자 SE는 높은 처리량 생산 및 비용 절감에 적합합니다. 모듈식 아키텍처, 고흡수 프로세스 챔버 (high-absorbance process chamber), 신뢰할 수 있는 제어 알고리즘은 탁월한 품질의 필름을 제작하는 데 비용 효율적이고 안정적인 선택입니다. 대용량 운영 실행에 이상적인 선택이며 TCO (총 소유 비용) 를 절감할 수 있습니다.
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