판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215447
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ID: 9215447
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
CVD System, 12"
Process: P-TEOS(USG)
(2) Twins
FI Robot: KAWASAKI
Chamber configuration: Chamber-A,B
RPS: MKS FI120620
Heater: ALN
RF:
ADVANCED ENERGY APEX3013
ADVANCED ENERGY PDX-900-2V
Gas delivery
Chamber A&B:
Gas / Size / Model
NF3 / 5slm / Unit 8565C
TEOS / 7mgm / STEC LF-A40M-A-EVD
TEOS / 7mgm / STEC LF-A40M-A-EVD
Missing gases for chamber A & B: O2, Ar, He
Missing parts: H/E, HDD, OTF, iPump
Power requirements: 200/208 V, 60Hz
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 시장에서 사용 가능한 최고의 실리콘 가공로 중 하나입니다. 이 원자로는 칩 생산을위한 실리콘 (silicon) 을 포함하여 다양한 재료를 만들도록 설계되었습니다. 고품질 반도체의 효율적인 생산을 위해 다양한 기능을 갖추고 있습니다 (영문). AMAT Producer SE에는 기능이 다른 4 가지 영역이 있습니다. 첫 번째 구역은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 고체 기판을 처리하도록 설계된 챔버입니다. 이 "챔버 '에는 들어오는" 가스' 를 균등 하게 분배 하는 데 도움 이 되는 회전 하는 내부 벽 이 갖추어져 있다. 액체 전구체를 기판에 적용 할 수있는 조정 가능한 쇼 헤드 (showerhead) 도 있습니다. "프로세스 영역 (Process Zone)" 이라고하는 두 번째 영역은 금속 증착 과정이 발생하는 곳입니다. 이 영역에는 기판에 금속의 균일 한 증착을 용이하게하는 MVIM (Multi-View Illumination System) 이 있습니다. MVIM은 또한 필름 두께, 균일 성 및 커버리지를 더 잘 제어 할 수 있습니다. 세 번째 영역은 Unloading/Loading Zone 으로 완료된 웨이퍼를 제거할 수 있습니다. 이 존 (zone) 은 손쉽게 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 제거하고 로드할 수 있도록 설계되었습니다. 네 번째 영역은 GDS (Gas Distribution System) 로, 원자로를 통과하면서 공정 가스의 압력과 속도를 조절하고 모니터링하는 데 사용됩니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 다양한 조정 및 모니터링 기능을 통해 최적의 프로세스 제어 및 안정성을 제공합니다. 여기에는 압력 및 온도 센서, 전력, 가스 유량, 챔버 크기 조정 기능이 포함됩니다. 원자로 (Reactor) 에는 프로세스를 원격으로 모니터링하고 성능 데이터를 제공하는 컴퓨터 시스템 (Computer System) 도 있습니다. 생산자 SE는 고품질 실리콘 (silicon) 과 다른 반도체 소재를 생산할 수 있는 효율이 높고 신뢰성 있는 원자로다. 그 기능은 안정적이고 효율적인 반도체 생산을 찾는 사람들에게 좋은 선택입니다.
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