판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204012
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ID: 9204012
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Twin chamber, 12"
Process: HT SiN
Major part:
RPS: MKS FI80131(Astron ex)
Ceramic heater: AIN
Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount
AC Box: 0195-02428
Heater lift driver: 1080-00126
Pin lift driver: 0190-13840
Throttle valve: 683B-24562
ISO Valve: SMC XZ-218
Manometer: 10T / 100T
HF RF Generator:
0920-00085
0920-00107
Process kits:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping Ring
Spacer
Lift hoop
EQ Liner
Liner
Nitch
Gas panel configuration:
Gas Size MFC Filter Valve
Stick 3 N20 15,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 4 N20 1,000 IFC-125 PALL Hamlet
Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 6 SiH4 1,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 7 NH3 700 IFC-125 PALL Hamlet
Stick 8 HE 15,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 9 N2 25,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Stick 10 NH3 5,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 11 N2 5,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 12 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 13 NF3 5,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Stick 14 AR 10,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 15 N2 5,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Junction box missing
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 실리콘 웨이퍼 생산을위한 고급 원자로 플랫폼입니다. 업계 최초의 300mm 직경의 단일 웨이퍼 (single-wafer) 처리 시스템으로, 전자 업계에서 가장 높은 품질의 집적회로를 만듭니다. AMAT 생산자 SE 는 업계에서 가장 높은 수익률을 자랑하는 반도체 웨이퍼를 처리합니다. APPLIED MATERIALS 생산자 SE 최첨단 기술은 전반적인 웨이퍼 처리 및 생산성을 향상시키도록 설계되었습니다. 원자로에는 최대 성능과 유연성을 보장하는 두 가지 구성 요소 (클러스터 도구, 프로세스 모듈) 가 있습니다. 클러스터 도구 (cluster tool) 는 원자로의 주요 구성 요소 중 하나이며 단일 웨이퍼 환경에서 고급 프로세스 (advanced process) 의 생성을 담당합니다. 이 툴은 운영 유연성, 효율성 및 비용 절감을 극대화합니다. 클러스터 도구에는 저온 프로세스 모듈, 다중 프로세스 챔버, 고속 격리 메커니즘, 선택적 전달 시스템 (selective delivery system) 과 같은 고급 기능이 포함됩니다. 또한 AMAT 독점 프로세스 레시피를 사용하여 최적의 제작 성능을 보장합니다. 프로세스 모듈 인 생산자 SE (Producer SE) 의 두 번째 구성 요소는 단일 웨이퍼 환경에서 처리를 최적화하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS 독점 기술을 활용하여 원자층 증착, 이온 이식, 이온 밀링, 에칭 등 다양한 고급 프로세스를 지원합니다. 또한 처리량, 항복 및 통합 밀도를 높입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 50nm에서 10 미크론까지 광범위한 반도체 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 최첨단 프로세스기술 (process technologies) 을 처리하기 위한 제품으로, 첨단 시장을 위한 복잡한 반도체 (semiconductor) 소자를 제작하려는 사람들에게 이상적인 솔루션이다. 아마트 생산자 SE (AMAT Producer SE) 는 실리콘 웨이퍼 생산을위한 강력하고 안정적인 원자로 플랫폼으로, 사업에서 가장 높은 수익률을 제공합니다.
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