판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204009
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ID: 9204009
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Twin chamber, 12"
Process: APF
Major part:
RPS: MKS FI80131(Astron ex)
HF RF Generator: 0920-00107(Apex3013)
Ceramic heater: AlN
Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount
AC box: 0195-01042
Heater lift driver: 1080-00126
Pin lift driver: 0190-13840
Throttle valve: 683B-26033
ISO Valve: 99D0654
Manometer: 20T / 100T
Process kit:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping ring
Lift hoop
AL Spacer
Gas configuration:
Gas Size(sccm) MFC Filter Valve
Stick 1 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 2 AR 5,000 UFC-8565 NAS Hamlet
Stick 3 HE 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 4 C3H6 3,000 IFC-125 NAS Hamlet
Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 7 N2 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 10 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 11 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 12 NF3 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 13 AR 10,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Lift ring(Fixed type): Localized
Missing parts:
Foreline
Heater lift driver
Aluminum slit insert
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 주로 반도체 제작 및 기타 산업 응용 분야에 사용하도록 설계된 공유 원자로 유형입니다. AMAT, Inc. 에서 제작했으며, 포괄적인 툴 제어, 데이터 전송, 모니터링 기능을 통해 빠르고, 효율적이며, 정확하게 작업을 수행할 수 있도록 설계되었습니다. AMAT Producer SE는 반응 챔버, 진공 장비, 공정 가스 전달 시스템, 인젝터, 컨베이어 벨트, 냉각 장치 및 배기 정리 기계를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 반응실은 원자로 내 환경을 함유하고 분리하는 데 사용된다. 업스트림 진공 도구 (upstream vacuum tool) 가 장착되어 있는데, 이는 전체 자산의 필수 부분입니다. 공정 가스 전달 모델 (process gas delivery model) 은 필요한 공정 가스를 반응 챔버에 전달하도록 촉진한다. 인젝터 (injector) 는 공정에 필요한 화학 물질을 지시하고 받으며, 컨베이어 벨트 (conveyor belt) 는 챔버 내에서 물질을 움직이는 데 사용됩니다. 냉각장비 는 "챔버 '내 의 온도 를 조절 하는 데 사용 되며, 배기 정리" 시스템' 은 제품 을 방출 하기 전 에 모든 오염 물질 을 환경 에서 제거 하는 데 도움 이 된다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 다양한 프로세스에 사용될 수있는 다단계 원자로입니다. 정밀한 반응 매개변수 제어, 정밀한 양의 화학 물질 주입, 공정 모니터링 (process monitoring) 등 높은 수준의 공정 제어를 제공 할 수 있습니다. 또한 높은 수준의 자동화 (automation) 를 제공하도록 설계되었으며, 운영 조건을 동적으로 변경하고 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 또한 로컬 (local )/원격 (remotely) 방식으로 안전하게 데이터를 전송하여 프로세스 관리 및 제어를 위한 통합 플랫폼을 제공할 수 있습니다. 안전 (Safety) 기능 측면에서, Producer SE는 인력과 프로세스 환경의 안전을 보장하기 위해 여러 가지 안전 관련 설정과 경보를 포함합니다. 예를 들어, 내장 안전 인터 록 (Safety Interlock) 머신이 장착되어 있어 특정 조건이 충족되지 않으면 프로세스가 작동하지 않습니다. 또한 모든 프로세스 매개 변수에 대한 포괄적인 모니터링 및 로깅 (Logging) 기능을 통해 모든 프로세스 관련 문제를 빠르고 쉽게 진단할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 고급 반도체 장치 생산에 이상적인 도구입니다. 높은 수준의 자동화, 공정 (process precision), 안전 (safety) 기능을 통해 제조 공정에 가치를 더할 수 있습니다.
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