판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204008

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 화학적, 물리적 손상에 강한 고품질 필름 생산을 위해 설계된 고급 PECVD (plasma-enhanced chemical vapour deposition) 원자로입니다. 이 원자로 는 질화물, 산화물, 유전체 의 얇은 "필름 '과" 다이아몬드' 및 비정질 물질 을 퇴적 시킬 수 있다. 이 제품은 강력하면서도 안정적이며 정확한 디지털 드라이브 (digital drive power source) 기능을 제공하여 증착률과 균일성을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 AMAT Producer SE는 다양한 응용 프로그램에 사용되는 다양한 씬 필름 (Thin Film) 의 제작에 이상적인 선택이 됩니다. APPLIED MATERIALS Producer SE의 주요 구성 요소는 챔버, 증착 소스, 지원 및 자동화입니다. 이 챔버는 고밀도 PECVD 작동을 위해 설계되었으며, 이는 기존의 CVD 시스템보다 높은 증착률을 가능하게합니다. 그것 은 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며" 시스템' 이 작동 할 때 진공 상태 를 유지 하기 위하여 여러 개 의 진공 물개 를 가지고 있다. 소스는 원자로 상단에 있으며, 전자 레인지 및 RF 플라즈마 발전기, 가스 출력 밸브 및 기판 지원을 포함합니다. "마이크로 '파 발전기 는" 마이크로' 파 "에너지 '의 전력 과 주파수 를 정밀 하게 제어 할 수 있는 주파수 조절 장치 를 갖추고 있다. RF 소스는 추가 전원을 제공하고 증착률을 증가시킵니다. 기판 지지대는 알루미나 세라믹 창이있는 스테인리스 스틸 프레임 (stainless-steel frame) 으로 구성되어 기질의 균일 한 가열을 보장합니다. 자동화 시스템에는 기판 로드 및 언로드 용 컴퓨터 제어 로봇 암 (robot arm) 과 증착 프로세스 제어를 위한 프로세스 자동화 소프트웨어 (process automation software) 가 포함되어 있습니다. 프로듀서 SE는 뛰어난 박막 제작을위한 고급 플랫폼입니다. 화학적· 신체적 저하 에 극도 로 강한 "필름 '을 만들 수 있는 능력 이 있어서, 많은 공업용" 필름' 에 좋은 선택 이 된다. 또한 뛰어난 성능과 재생성으로 균일 한 영화를 기탁 할 수 있습니다. 또한 강력한 디지털 드라이브 (Digital Drive) 전원은 차세대 반도체 (Semiconductor) 장치용 장치와 신흥 소재 생산에 이상적인 선택입니다.