판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9203837

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 다양한 반도체 웨이퍼 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 플라즈마 기반 증착 또는 에치 원자로입니다. 이 원자로의 효율적인 설계는 고급 프로세스 자동화, 제어 및 모니터링 시스템을 통합하여 고정밀 결과를 제공합니다. 스텐레스 스틸 진공실 (Stainless Steel Vacuum Chamber) 은 기판을위한 관대 한 공간과 다양한 검출기 및 모니터 구성으로 처리량을 높입니다. AMAT Producer SE의 정밀 처리 기능은 선도적인 반도체 제조업체가 선호하는 뛰어난 프로세스 균일성, 에지 제어, 청결성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 는 고유하고 효율이 높은 비 벨 사이클론 가스 전달 장비를 사용하여 현장내 가스 구성이 풍부하고 처리량 및 프로세스 제어 향상에 필요한 플라즈마 밀도가 높습니다. 원자로는 에칭 (etching), 클리닝 (cleaning), 증착 (deposition) 을 포함한 광범위한 단일 웨이퍼 및 클러스터 도구 응용 프로그램에 적합합니다. 부하 잠금 시스템 (Load Locking System) 은 항상 최소한의 가스 손실을 보장하며, 난방 및 냉각 구조의 많은 구성을 수용하면서 최대 200mm 크기의 기판을 수용 할 수 있습니다. 또한 생산자 SE는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 제공합니다. 프로세스 변수에 대한 실시간 닫힌 루프 피드백 제어를 제공하는 APC (Advanced Process Control) 모듈이 특징입니다. 또한 단일 웨이퍼 또는 클러스터 도구 응용 프로그램에 대한 규칙 기반 제어가 포함되어 있습니다. 또한 유연한 레시피 개발 및 실행 지원, 자동 경보 시스템, 통계적으로 의미있는 데이터 액세스 등을 제공합니다. 마지막으로, 원자로의 고급 안전 (safety) 기능은 다중 사용자 어플리케이션을 위한 안정적이고 안전한 도구입니다. 특허받은 안전 패널 (safety paneling) 은 X 선 증명 유리를 사용하며 원자로의 압력 무결성을 손상시키지 않고 주요 부품에 액세스 할 수 있습니다. 또한, 통합 고급 보안 장치 (Advanced Security Unit) 를 사용하면 시스템 관리자가 언제든지 레시피 및 시스템 무결성 설정을 암호화할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 정밀도, 공정 제어 및 안전 기능을 통해 혁신적인 반도체 웨이퍼 제작 프로세스의 표준을 설정했습니다. 업계에서 효율적이고, 안정적이며, 안전한 플라즈마 기반 증착 및 에치 (etch) 솔루션을 제공합니다.