판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9203790

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (AMAT Producer SE Reactor라고도 함) 는 다양한 첨단 산업에서 사용되는 박막과 재료의 증착을위한 고급 생산 장비 기술입니다. APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE 원자로 시스템은 새로운 제품을 다양하고 빠르게 도입하기 위해 개발 된 모듈 식 디자인의 지속적인 진공 기반 화학 증기 증착 (CVD) 프로세스입니다. 이 제품은 친환경적인 플랫폼에서 초슬림 (최대 1nm) 고품질 필름을 만들 수 있는 단일 엔드 (SE) 수평 분할 공정 챔버를 갖추고 있습니다. SE 챔버에는 4 개의 사전 설치 된 가스 전달 시스템 (GDS) 이 장착되어 있으며, 상위 챔버에 2 개, 하위 챔버에 2 개가 장착되어 있으며, 고급 상용 응용 프로그램을 위해 사용자 지정 및 구성 할 수있는 다양한 가스 입력 혼합물에 대한 정밀, 반복 가능 및 최적화 된 프로세스 제어가 가능합니다. 생산자 SE 원자로는 2 가지 프로세스 모드를 제공하여 최고의 유연성 (연속 또는 배치) 을 제공합니다. 연속 (Continuous) 모드에서 처리 시간 (Processing Time) 과 온도 (Temperature) 를 빠르고 유연하게 조정할 수 있으며, 짧은 시간 (RAM) 을 단축하여 사용자가 연구 및 개발 활동을 수행하는 고유한 기능을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE 원자로는 고순도 다중 영역 온도를 사용합니다. 상부 공정 챔버 (upper process chamber) 는 300 ~ 800 ° C 사이의 온도에서 작동하여 화학 물질과 가스의 흐름을 정확하게 제어합니다. 낮은 약실의 온도 범위는 200 ~ 300 ° C이며 압력은 1 ~ 10 torr 사이에서 조절 할 수 있습니다. 이러한 온도와 압력은 장치 전체에서 균일 한 필름 품질과 증착을 제공합니다. AMAT 생산자 SE 원자로에는 처리 조건에 대한 실시간 웨이퍼 레벨 및 챔버 레벨 뷰를 제공하는 CMC (Advanced Control and Monitoring System) 가 장착되어 있습니다. 고급 알고리즘을 갖춘 이 센서 기반 모니터링 시스템은 잠재적 인 프로세스 문제를 예측하고, 예측 진단 및 해결책을 제공할 수 있습니다. CMC는 또한 사전 프로그래밍 된 레시피가 대상 프로세스 매개변수를 충족 할 수 있습니다. 사용이 간편한 사용자 인터페이스 덕분에 APPLIED MATERIALS (APPLIED MATERIALS) 생산자 SE 원자로를 수동으로 또는 자동으로 실행하여 운영자에게 안전성과 편리함을 제공할 수 있습니다. 자동 소프트웨어 (옵션) 를 사용하면 웨이퍼를 자동으로 로드, 언로드할 수 있으며 프로세스 최적화 및 주기 시간 단축도 가능합니다. 생산자 SE 원자로는 정교한 생산 장비이며 AMAT 생산 제품군의 핵심 요소입니다. 효율적이고 신뢰할 수 있는 툴로서, 고객이 원하는 대로 제품을 개발할 수 있도록 성능을 향상시켜 드립니다 (영문).