판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9195324

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ID: 9195324
CVD System, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 정확한 박막 증착 응용을 위해 설계된 원자로입니다. 시중에서 가장 발전된 원자로 중 하나이며, 디스플레이 (display), 반도체 (semiconductor) 및 기타 장치를 만들기 위해 기판을 형성하는 데 사용됩니다. 원자로는 혁신적인 프로세스 기술과 안정적인 성능, 엄격한 프로세스 제어, 우수한 반복성을 결합합니다. 원자로 내에서, 벨 항아리 (bell jar) 와 확산 펌프 (diffusion pump) 장비는 우수한 진공 및 압력 성능을 제공하며 정확한 양의 재료가 정확한 타이밍으로 전달되도록 보장합니다. AMAT 생산자 SE 는 이중 존 (Zone) 을 장착하여 빠르고 안정적인 프로세스 조건을 제공하며, 보다 높은 품질의 레이어, 더 빠른 주기 시간, 더 낮은 필름 오염을 지원합니다. 내장 가스 박스 설계를 통해 공정 챔버 (process chamber) 와 빠른 반응 시간을 효율적으로 밀봉할 수 있습니다. 하중 잠금 장치 (Load Lock) 는 대기에 노출되지 않고 하중 잠금 챔버 (Load Lock Chamber) 와 반응 챔버 (Reaction Chamber) 사이에 웨이퍼를 효율적으로 전달하며 200mm 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS 생산자 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 는 단일 프로세스 단계에서 반응성 있는 가스와 반응성 없는 가스를 모두 처리할 수 있는 다중 모드 기능을 제공합니다. Producer SE의 제어 시스템은 간편한 조정 레시피, 다중 레벨 보안 유닛, 사용자 작업 전용 마법사 등 다양한 사용자 친화적 기능을 제공합니다. 또한, 원자로 (reactor) 에는 프로세스를 모니터링, 분석하고 개별 레시피를 만들고 성능을 최적화하는 다양한 소프트웨어 툴이 포함되어 있습니다. 각 머신에 모든 AMAT 청소 프로세스 (clean process) 를 기반으로 하는 표준 함수 (standard function) 세트가 포함된 경우, 원자로는 수동 및 완전 자동화 작업 모두에 적합합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE 원자로는 10 리터 용량의 정교한 진공 챔버 (vacuum chamber) 로 둘러싸여 환경 간섭으로부터 뛰어난 차폐를 제공합니다. 그리드 프리 펄스 스퍼터링 (grid-free pulsed sputtering), 균일 및 반복 가능한 증착 및 기판의 균일 한 레이어 두께를위한 솔리드 스테이트 전원이 특징입니다. 다중 요소 웨이퍼 스테이지는 동작 수를 최소화하고, 성능을 향상시키며, 가열 및 냉각 기능 사용을 최적화합니다. APPLIED MATERIALS MaxBright 균일성 및 증착 제어 도구와의 호환성을 위해 설계되었습니다. 이 도구는 처음부터 끝까지 완전한 프로세스 제어를 제공합니다. 전반적으로 AMAT Producer SE는 박막 증착 응용 프로그램을위한 신뢰할 수있는 고성능 원자로입니다. 원자로 (Reactor) 는 강력한 프로세스 기능과 사용자 친화적 제어 기능으로 단순한 증착 (deposition) 절차부터 매우 복잡한 증착 (deposition) 절차에 이르기까지 다양한 증착 요구에 적합합니다.
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