판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9163057

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (AMAT) 는 반도체 생산에 사용되는 PVD (Physical Vapor Deposition) 응용 프로그램을위한 장비입니다. 원자로는 효율적인 필름 증착을위한 환경을 제공하며, 균일하고 고품질의 결과를 제공합니다. 프로세스 제어 (process control) 를 달성하여 우수한 수익률을 달성하고 TCO (소유 비용) 를 절감하도록 설계되었습니다. 이를 통해 생산자들은 더 저렴한 비용으로 더 많은 양의 반도체를 생산할 수 있습니다. 반도체를 생성하는 복잡한 과정은 기질에 금속 함유 화합물의 필름 (film) 을 생성함으로써 달성된다. 그런 다음이 필름은 패턴 화 된 웨이퍼에 퇴적됩니다. 기존의 PVD 증착 과정은 허용되지 않는 수준의 프로세스 변형으로 느립니다. 여기서 AMAT Producer SE는 차이를 만듭니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 RePVD (Reactive Enhanced PVD) 라는 혁신적인 개념을 사용합니다. 이 기술은 진공실, 기질, 필름 형성 전구체 가스 사이의 반응을 활용하여 공정 수율을 증가시킵니다. 반응은 약실이 230 내지 270 ° C 범위의 온도로 가열되어 반응물이 기질에 접착제 (adherent film) 를 형성 할 수 있기 때문에 일어난다. 증착 과정은 피드백 제어 (feedback control) 기능을 통해 더욱 최적화되어 생산자가 프로세스의 모든 측면을 세밀하게 조정하고 모니터링할 수 있습니다. 생산자 SE의 추가 기능에는 넓은 지역의 균일성을 위한 고실리콘 처리량 계층 시스템 (high-silicon throughput layer system) 과 고속 증착을 위한 고급 PowerMax 기술이 포함됩니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 여러 가지 안전 기능을 제공합니다. 여기에는 챔버를 깨끗하게 유지하는 특허를받은 Active Carrier Cleaning Unit과 압력을 모니터링하고 최적의 범위 내에 유지하는 활성 Reaction Protection Machine이 포함됩니다. 이러한 기능은 항상 안전한 프로세스를 보장합니다. 전반적으로 AMAT Producer SE는 반도체 제조를위한 강력한 도구입니다. PVD 증착 기술의 최신 발전과 프로세스 제어 및 신뢰성을 보장하는 기능을 결합합니다 (영문). 다재다능성은 대규모 및 소규모 생산 어플리케이션에 적합합니다.