판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9153559
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9153559
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
CVD System, 12"
(2) Chambers
Chamber A and B:
Chamber process: XJ (PE Si-lane twin)
APEX 3000 RF Generator
Gas delivery:
Gas pallet type: Surface mount vertical
No regulated gas panel
No regulated TMS
Top gas feed
Gas panel cabinet exhaust: Top
No facilities interlock indicator
SETRA Transducers
Nippon filter
Manual and pneumatic valves: Hamlet
No liquid source
Gases:
Chamber A:
Gas position / Gas / MFC Size
Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM
Gas 2 / H2 / 15000 SCCM
Gas 8 / O2 / 30000 SCCM
Gas 9 / AR / 15000 SCCM
Gas 10 / HE / 5000 SCCM
Gas 13 / N2 / 15000 SCCM
No regulator
No transducer
Chamber B:
Gas position / Gas / MFC Size
Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM
Gas 2 / H2 / 1000 SCCM
Gas 8 / O2 / 30000 SCCM
Gas 9 / AR / 15000 SCCM
Gas 10 / HE / 5000 SCCM
Gas 13 / N2 / 15000 SCCM
No regulator
No transducer
Mainframe:
No local center finder
No Cu wafer sensor
Third MF IO motion card
Robot blade: Standard VHP
Factory interface, 12":
Options: 5.3
WIP Delivery type: OHT
Wafer pass thru and storage: DSM Specific cooling tray
KAWASAKI Track robot with edge grip
No docked E99 reading capability
Load port types: Enhanced 25 wafer FOUP
Load port operator interface: Standard 9 light
No configurable color lights
No docking flange shield
Front facing intake plenum air system
E84 Pl/O Sensors and cables: Upper E84 sensors and cables
OHT Light curtain
Carrier ID host interface
(3) Colors configurable light towers
Heat exchanger:
No AMAT / APPLIED MATERIALS HX Hose and manifolds
Remote AC:
Facilities UPS interface
Chamber configuration:
Channel A / Channel B:
BFC
Foreline, 2"
T/V Type: 683B
0090-05813 RF Filter
RPS
FFU Controller
Power supply: 200-208 VAC, 60 Hz
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 고급 반도체 장비의 글로벌 공급 업체 인 AMAT가 설계 및 제조 한 단일 웨이퍼 행성 원자로입니다. 이 원자로는 고급 (advanced) 기능과 사용이 간편한 소프트웨어를 결합하여 고성능, 저전력, 신뢰성 어플리케이션을 위한 고급 반도체 (advanced semiconductor) 재료를 생산합니다. 단일 웨이퍼 Advanced Materials AMAT 프로듀서 SE (Advanced Materials AMAT Producer SE) 는 프로세스 엔지니어 및 과학자에게 이상적이며 다양한 박막 프로세스 및 기판에 고수율, 고품질 결과를 제공 할 수 있습니다. 원자로는 프로세스 균일성, 신뢰성 및 웨이퍼 형태 일관성을 통해 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 생산을 제공합니다. 원자로에는 UHV (Ultra-High Vacuum) 및 NV (Near-vacuum) 공정으로 봉인 된 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 이 장비는 단일 및 다중 웨이퍼 기판 모두에서 프로세스를 달성하고 여러 가스를 동시에 처리하도록 설계되었습니다. 원자로에는 재료를 증착 할 때 직접 볼 수있는 저출력 증착 (low-emissivity deposition) 뷰 창 (view window) 과 일정한 온도에서 시원한 공정 가스를 유지하는 냉장고 시스템 (refrigerator system) 이 장착되어 있습니다. 제어 및 서비스를 위해 APPLIED MATERIALS Producer SE는 APPLIED MATERIALS에서 개발 한 Easy-to-Use 소프트웨어 제품군에서 지원합니다. 이 제품군은 교육, 유지 보수, 모니터링 및 서비스를 위한 직관적인 인터페이스를 제공합니다. 또한, 생산자의 소프트웨어 플랫폼을 사용하면 개별 장치 및 증착 요구를 충족할 수 있습니다. 생산자 SE 는 생산성을 극대화하고 생산성 수준을 높이도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. "와퍼 '를 중심 으로 하는 자동" 와퍼' 장치 와 "로봇 '장치 를 갖추고 기판 을 제자리 에 두고 수율 의 손실 을 최소화 한다. 또한, 고급 디지털 처리 제어 시스템 (Advanced Digital Processing Control Machine) 은 최적의 프로세스 속도와 위치 정확도를 유지하며, 웨이퍼 상태에 대한 지속적인 피드백을 제공합니다. 단일 웨이퍼 Advanced Materials AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (고급 재료 AMAT/응용 재료 생산자 SE) 는 빠르고 쉬운 프로세스 실행 및 제어를 가능하게 하며 최고의 수율과 품질을 보장하도록 설계되었습니다. 반도체 제조업체가 생산성 최적화와 최상의 성과를 달성하고자 하는 '안정적이고 경제적인' 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다