판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9150542
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AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE는 단일 웨이퍼, 배치 하중 원자로로, 순도가 높은 반도체 재료의 에피 택시를 위해 설계되었습니다. 매우 균일하고 최소한의 오염을 가진 다양한 증착 템프 (deposition temp) 가 필요한 박막 소스 (thin-film source) 및 장치 생산에 적합합니다. SE 패키지는 고급 가스 배송 시스템 (Advanced Gas Delivery System) 과 결합된 고효율 웨이퍼 가열 요소를 활용하여, 품질 증착 결과 비용 효율적인 프로세스를 제공합니다. AMAT 생산자 SE 혁신에는 프로세스 제어를 향상시키기 위해 전체 웨이퍼 전체에 균일하게 가열 (heating) 을 제공하는 가열 된 웨이퍼 척 (wafer chuck) 이 포함됩니다. 배치 모드 (batch mode) 와 연속 모드 (continuous mode) 에서 모두 oeprate 기능을 사용하면 운영 프로세스에 유연성이 향상됩니다. 고급 멀티존 난방 (multigzone heating) 및 가스 유동 분포 시스템은 폐쇄 된 프로세스 환경 내에서 일관된 생산을 보장합니다. APPLIED MATERIALS 생산자 SE는 또한 뛰어난 재료 처리량과 생산성을 활용합니다. 지능형 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 프로세스 모니터링 시스템과 결합된 고출력 전달 컴포넌트 (high-throughput delivery component) 는 빠른 주기와 뛰어난 균일성이 특징인 오염이 없는 프로세스를 보장합니다. 원자로는 다양한 재료 및 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 표준 기판 "보트 '크기 를 세 가지 까지 선택 할 수 있으며, 다양 한" 가스' 배달 "시스템 '은 여러 가지 증착 조리법 을 허용 한다. 또한, 원자로는 자체 청소이며, 증착 중 웨이퍼 온도를 정확하게 모니터링하도록 설계된 고해상도 피로미터 (pyrometer) 를 제공합니다. 생산자 SE는 다양한 고성능 반도체 제품에 이상적인 생산 솔루션입니다. 원자로 (Reactor) 는 효율적인 설계 및 다용도 작동을 통해, 고품질 증착 공정이 필요한 반도체 생산자에게 뛰어난 가치 제안을 제공합니다.
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