판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9120403

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 다양한 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 원자로입니다. 다양한 재료를 수용 할 수있는 큰 고온 진공실입니다. 원자로는 실리콘, 갈륨 비소, 질화 갈륨, 인화 갈륨 등 다양한 물질을 처리 할 수 있습니다. 견본 로딩, 샘플 전송 및 증착/에치 공정에 사용할 수있는 3 개의 독립적으로 제어 된 진공 챔버가 장착되어 있습니다. 이 장비는 또한 다양한 수동화 (passivation) 및 유전층을 생성 할 수 있습니다. 원자로는 흑연 서셉터를 사용하여 처리 중 샘플을 지원합니다. 또한 더 나은 진공 물개를위한 2 개의 동심 석영 물개 고리가 있습니다. 또한, 이 시스템에는 원자로에 가스를 제거 또는 도입하는 데 사용되는 가스 전달 장치 (gas delivery unit) 가 포함되어 있습니다. AMAT Producer SE는 직류 (DC) 고주파 스퍼터링 방법을 사용하여 샘플의 표면에 배치합니다. 이 프로세스는 USJ (Ultra-Shallow Junctions) 및 기타 고급 기능을 생성하는 데 매우 효과적입니다. 또한 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 통해 기계는 높은 증착률, 높은 균일성 및 높은 공정 안정성을 제공 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 온도 조절 에셋 (temperature control asset) 으로 설계되어 샘플의 온도가 프로세스 전반에 걸쳐 일관되게 유지됩니다. 모델의 온도 범위는 30 ~ 500 ° C입니다. 이 장비에는 원자로 환경에서 일관된 압력을 유지하는 데 사용되는 압력 제어 시스템 (Pressure Control System) 도 포함되어 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE는 산화, 질화, 규산화, 확산 및 에칭을 포함한 다양한 재료 및 증착 과정을 지원합니다. 원자로에는 공정 모니터링 (process monitoring) 및 제어 시스템 (control system) 이 장착되어 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 온라인 데이터 획득 및 데이터 처리 시스템이 포함되어 있습니다. 이 도구는 처리 과정 매개변수 및 샘플 조건을 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, 생산자 SE (Producer SE) 는 다양하고 신뢰할 수있는 증착/식각 원자로로, 다양한 제작 프로세스에 적합합니다. 증착률이 높고, 균일성이 높으며, 공정 안정성이 높으며 온도 조절이 뛰어납니다. 또한 일관된 결과를 보장하기 위해 고급 모니터링 및 제어 자산이 있습니다.