판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088242

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 다양한 재료를 반도체 웨이퍼에 에피 택시 증착하기위한 도구입니다. 수직형 원자로로, 섭씨 250 ~ 500 도의 저온에서 작동하도록 설계되었습니다. 원자로는 두 가지 주요 부분, 증착실 및 열 구역으로 구성됩니다. 증착실은 증착 과정이 진행되는 곳입니다. 이 방에서, 가열 된, 비활성 가스는 균일 한 증착을 보장하기 위해 웨이퍼 위의 특정 패턴으로 순환된다. 가열 된 "가스 '는 증착 된 물질 과" 웨이퍼' 표면 사이 의 좋은 접착 을 촉진 시키는 데 도움 이 된다. 또한 "챔버 '안 에는 석영" 램프' 가 있는데, 이것 은 재료 의 접착 을 더욱 개선 하기 위한 부가적 인 "에너지 '부스트' 를 제공 할 수 있다. 열 지대 (thermal zone) 는 재료가 가열되는 원자로의 구성 요소입니다. 온도가 빠른 램핑을 위해 열 질량이 낮은 1 단 가스 가열 열 벽 도가니 (crucible) 가 장착되어 있습니다. 뜨거운 벽 도가니 (crucible) 는 재료를 제어 방식으로 가열하여 정확한 증착률과 균일성을 보장합니다. 온도에는 온도 컨트롤러 (temperate controller) 가 장착되어 있어 증착 과정을 정확하게 제어할 수 있습니다. AMAT 생산자 SE 원자로에는 용광로 연동 장비, 과열 보호 장치, 긴급 차단 시스템 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 원자로에는 혁신적인 냉각 장치 (cooling unit) 가 있는데, 이는 온도를 원하는 수준으로 유지하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, 원자로에는 고품질 진공기가 장착되어 있어, 높은 진공 수준과 깨끗한 작동 환경을 보장합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Producer SE는 epitaxial 증착 프로세스에 매우 안정적이고 효율적인 도구입니다. 이 제품은 다양한 공정 (process) 기능을 제공하며, 다양한 재료를 반도체 웨이퍼에 배치하는 데 사용될 수 있습니다. 직관적인 안전 (Safety) 기능과 고품질의 진공 도구 (Vacuum Tool) 가 장착되어 있으며, 저온 작동을 통해 증착 과정을 정확하게 제어할 수 있습니다.