판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088236

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ID: 9088236
CVD System, 12", 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 실리콘 에피 택시를 위해 설계된 VSWR (Vertical Single Wafer Reactor) 입니다. 이 장비의 기원은 거의 40 년의 AMAT 전문 역량, 수많은 고객 피드백, 광범위한 재료 엔지니어링의 결과입니다. AMAT 생산자 SE 는 혁신적인 열 관리 장비로, 급속 냉각에서 저온 어플리케이션까지 정밀한 온도 제어를 가능하게 합니다. 공정에서 균일성을 위해 고온 수직 서셉터 (vertical susceptor) 를 사용하여 기질 균일성과 신뢰할 수있는 결과를 보장합니다. 이 원자로는 산업이 "인시 투 (in-situ)" 화학 증기 증착 (CVD) 시스템이라고 부르는 것으로, 동일한 챔버에서 가공되면서 에피 택시 실리콘을 직접 웨이퍼에 퇴적시키는 것을 의미합니다. 밀폐된 공정은 입자 오염이 없습니다. 입자 오염은 약실에 봉인되어 있기 때문입니다. 이 첨단 원자로는 저비용 (low-cost) 과 저정비 (low-maintenance) 로 설계되었으며, 연구부터 본격적인 생산에 이르기까지 대량 프로세스 요구에 이상적인 솔루션입니다. 광전자, MEMS 및 고출력 실리콘 카바이드 장치를 비롯해 FinFET (FinFET), 3D NAND (3D NAND) 기술에 대한 수요 증가를 포함한 다양한 애플리케이션에서 사용할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산자 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 의 핵심에는 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 가 있습니다. 이 온챔버, 실시간 피드백 제어 머신은 우수한 프로세스 성능과 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한, 이 장비는 처리 된 웨이퍼 (wafer) 의 전체 배열에 비해 적용 범위와 두께가 모두 균일합니다. 생산자 SE는 완전한 웨이퍼 투 웨이퍼 도구로 제공됩니다. 즉, 원자로 작동을 위해 필요한 모든 구성 요소 (기판 및 웨이퍼 처리 포함) 가 패키지에 포함되어 있습니다. 전체 자산은 8 피트 미만으로, 실험실 및 제조 환경에 이상적인 솔루션입니다. 모듈식 설계를 통해 모든 유형의 공간 (Room) 에 쉽게 맞출 수 있으며, 공간을 절약하고, 설치 속도를 높일 수 있습니다. 전반적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 효과적이고 적응 가능한 단일 웨이퍼 CVD 모델로, 반도체 산업의 생산 요구를 확장하는 데 적합합니다. 탁월한 온도 조절, 정확한 프로그래밍, 실시간 프로세스 모니터링 덕분에, 이 원자로는 매번 뛰어난, 완전히 반복 가능한 결과를 제공합니다.
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