판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088227

AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE (AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE) 는 고도의 균일성과 고급 공정 재료 증착을 위해 매우 높은 처리량을 정확하게 조합하도록 설계된 높은 처리량 고급 원자로 시스템입니다. 통합 듀얼 챔버 (Dual Chamber) 아키텍처를 통해 두 개의 독립 시스템을 동시에 운영할 수 있으며, 사용자가 동일한 웨이퍼 유형/크기를 처리하고자 할 때 프로세스 유연성과 뛰어난 생산성을 위한 엔지니어링 솔루션을 제공합니다. AMAT 생산자 SE (AMAT Producer SE) 는 혁신적인 가스 분사 전달 시스템을 갖춘 대형 유니폼 챔버를 갖추고 있으며, 매우 균일하고 생식 가능한 플라즈마 공정을 제공합니다. 대형 챔버 디자인은 증기 상, 액체 상, 화학 증기 증착, 원자층 증착 과정과 같은 많은 공정 옵션으로 정확한 재료 증착 균일성을 허용합니다. 독립 프로세스 모듈 인 AdvancedSource 및 HiCap은 LFSE (Low-Current Flash Thermal Spark Exciter) 로 인해 MPCVD 프로세스를 최적화하고 필름 품질을 향상시킬 수 있습니다. 저전류 플래시 열 스파크 엑시터 (Low-Current Flash Thermal Spark Exciter) 는 RF (Radio Frequency) 전원을 챔버로 제어하여 프로세스 제어 및 정밀도를 더욱 향상시켜 매우 단단한 정확도로 원하는 수준으로 유지합니다. LFSE는 또한 공정 챔버 (process chamber) 의 날카로운 가장자리로 인한 호위를 제거하는 제어 회로를 제공합니다. 다른 기능으로는 강력한 세그먼트 척 (segmented chuck), 별도의 조작기 (manipulator) 및 분리 챔버 (separation chamber) 가 있으며, 사용자가 챔버 가스를 혼합하거나 잔류 물을 한 프로세스에서 다음 프로세스로 교차 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 통해 각 프로세스를 사용자 정의, 제어, 모니터링할 수 있습니다. 사용자는 프로세스 매개변수 (process-parameter) 프로파일을 제어, 모니터링 및 저장할 수 있으므로 여러 로트에서 일관된 프로세스 성능을 보장합니다. 또한 강력한 FMA (File-Management System) 가 포함된 이 소프트웨어를 사용하면 반복 가능한 애플리케이션 결과를 위해 프로파일을 저장하고 쉽게 리콜할 수 있습니다. 생산자 SE 는 탁월한 TCO (소유 비용) 를 제공하며, 높은 처리량, 기판과의 호환성 향상, 전체 웨이퍼 영역에 걸쳐 뛰어난 균일성을 제공합니다. 원자로는 또한 뛰어난 재현성을 제공하며, 연속 실행에 대한 일관된 결과를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자 SE (AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE) 는 다양한 프로세스 기술을 지원하는 유연성을 갖춘 최고의 재료 증착 유연성을 제공합니다.