판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293825727

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 초고진공 박막 및 스퍼터링 프로세스에 사용되는 다용도 도구입니다. 유전체 및 전도성 재료의 예술 정밀 에칭 또는 증착 상태를 위해 설계되었습니다. AMAT Producer SE는 크고 작은 웨이퍼 크기와 다양한 유형의 프로세스에 대한 완전한 장비 유연성입니다. APPLIED MATERIALS 생산자 SE의 중심에는 자기 강화 교차 필드/RF/DC 스퍼터링 소스가 있습니다. 이 독점적 인 기술 은 강력 한 전자원, 고전압 의 "에너지 '공급, 그리고 특별 히 설계 된 자력 을 결합 시켜 우월 한 균일성 과 증착율 을 달성 한다. 교차 필드 (Crossed-Field )/RF/DC 소스의 전력 및 효율성이 향상됨에 따라, 기판 가열이 없어도 고품질의 박막을 웨이퍼 크기에 배치 할 수 있습니다. 이 시스템은 수동 (manual) 에서 완전 자동 배치 처리 (fully automated batch processing) 에 이르기까지 다양한 제어 기능을 제공하여 정확성과 반복성을 높입니다. 생산자 SE는 웨이퍼 온도, RF 전력, 증착률을 실시간으로 모니터링하는 터치스크린 터치패드 컨트롤러를 갖춘 고급 메인프레임 (mainframe) 을 포함합니다. 향상된 프로세스 추적 (Enhanced process tracking) 은 최고의 가동 시간과 균일성을 보장하며, 이는 오늘날의 복잡한 처리 환경에서 매우 유익합니다. 강력한 Crossed-Field/RF/DC 전원 외에도 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE에는 다재다능한 Ultra-High Vacuum 패키지와 가변 속도 터보 분자 펌프 소스가 포함되어 있어 높은 펌핑 및 압력 안정성을 제공합니다. 최첨단 프로세스 센서 (극저온 샘플 표면 온도, 압력, 로드 잠금 센서 포함) 를 통해 정확한 프로세스 제어 및 저해상도 가능합니다. 또한 AMAT Producer SE 는 분산 시스템을 위한 포괄적인 자동화 기능을 제공하며, 하나의 메인프레임에서 최대 16 개의 툴을 제어할 수 있습니다. 이 고급 아키텍처는 설치/통합을 원활하게 수행하고, 유닛 엔지니어링 민첩성을 높여줍니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 웨이퍼를 정확하게 공급하고 정위하기 위해 Enhanced Helix Bar Code 리더와 독특한 지능형 픽 앤 플레이스 로봇을 통합했습니다. 생산자 SE (Producer SE) 는 가장 도전적이고 정확한 박막 및 스퍼터링 프로세스를 위해 설계된 고급 도구입니다. 이 기계의 강력한 Crossed-Field/RF/DC 스퍼터링 기술은 프로세스 균일성과 속도를 최적화하는 반면, 자동화 된 도구 모음은 생산성과 정확성을 더욱 향상시킵니다. 고성능 기능을 결합한 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 고정밀 웨이퍼 처리를 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다.