판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293636665

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 293636665
빈티지: 2007
CVD System 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE 원자로는 고급 재료 처리에 사용되는 최첨단 화학 증기 증착 도구입니다. 증착 과정을 매우 정확하게 제어해야 하는 박막 증착 (Thin-film deposition) 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 이 장비에는 특허를받은 DLF-C (Dual Layer Film-Control) 기술과 고급 디지털 믹싱 시스템이 장착되어 있어 필름 특성을 정확하게 제어할 수 있습니다. 원자로는 매우 다재다능하며 4 인치, 6 인치, 8 인치 및 12 인치를 포함한 다양한 기판 크기를 처리 할 수 있습니다. 그것 은 금속 산화물, 질화물, 옥시니트라이드, 탄화물 의 얇은 "필름 '을 적합 하게 증착 시킬 수 있으며, 필름 의 두께 와 조성 을 제어 할 수 있다. 또한, 이 장치에는 챔버 흐름 및 압력 조건을 정확하게 제어 할 수있는 고급 디지털 가스 혼합 인터페이스 (Advanced Digital Gas Mixing Interface) 가 있습니다. 이를 통해 화학적, 물리적 특성이 최적화 된 필름을 증착할 수 있습니다. 가스 분배는 프로세스 챔버 (Process Chamber) 와 머신 콘솔 (Machine Console) 내에 위치한 고급 모니터링 시스템 제품군을 사용하여 모니터링됩니다. 다른 기능으로는 고급 원격 제어 기능 (Automated Programming Option 을 통해 액세스 가능) 이 있습니다. 이를 통해 자동화된 공구 설정 및 모니터링이 가능합니다. 에셋은 또한 압력 섭동없이 하위 층의 증착을 위해 최대 2 단계 흐름을 제공 할 수 있으며, 이는 대형 및 소형 웨이퍼 (wafer) 에 증착 된 필름에서 뛰어난 균질성을 가능하게한다. 이 모델은 사용하기 쉽고, 자체 포함된 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 통해 빠르고 효율적인 장비 설정 및 데이터 분석을 지원합니다. 이 시스템은 또한 사용자가 프로세스 데이터를 통합할 수 있도록 합니다. 즉, 결과를 심층 분석 연구에 사용할 수 있습니다. AMAT 생산자 SE 원자로는 고급 재료 처리를 위해 사용자 정의가 가능하고 강력한 도구입니다. 첨단 디지털 가스 혼합 기술, 증착 공정의 정밀 제어, 2 단계 흐름, 자동 장치 설정 (Automated Unit Setup) 및 통합 데이터 분석은 고급 박막 증착 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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