판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293628311

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (AMAT Producer SE) 는 고급 단일 웨이퍼 반도체 원자로입니다. 유연성 (Flexibility) 을 제공하며 다양한 반도체 처리 (Semiconductor Processing) 애플리케이션에 이상적인 고유한 기능을 제공합니다. 응용 재료 생산자 SE는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 원자로입니다. 이 유형의 원자로는 전기 및 자기장을 결합하여 가열되고 전기 충전 된 가스 인 플라즈마 (plasma) 를 생성합니다. 이 "플라즈마 '는 얇은" 필름' 을 퇴적 시키거나 다른 반도체 과정 을 수행 하는 데 사용 된다. 생산자 SE는 최적의 플라스마 처리 조건을 만들기 위해 ICP 프로세스 조건에 최적화된 1,000 W 소스를 갖추고 있습니다. 이를 통해 원자로는 기판을 빠르게, 균일하게, 결함 밀도가 낮게 처리 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 직경이 18 인치 인 대형 쿼츠 세라믹 챔버를 특징으로하여 최대 6 개의 기판을 수용 할 수 있습니다. 이를 통해 여러 기판에서 동시에 복잡한 프로세스를 수행하여 효율성을 높이고 처리량을 높일 수 있습니다 (영문). 원자로에는 정확하고 일관된 프로세스 결과를 보장하기 위해 여러 가지 고급 (advanced) 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 이중 주파수 RF 생성기, 특허 RF 회로 및 조정 가능한 RF 제어 루프가 포함됩니다. 그 결과 "플라즈마 '를 정확 히 제어 하여 정밀 한 공정" 파라미터' 와 반복 할 수 있는 결과 를 얻게 된다. AMAT Producer SE에는 닫힌 루프 온도 조절 시스템이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 더 오래 처리 하는 동안 에도, 기판 의 온도 가 균일 하게 유지 되는 데 도움 이 된다. 이 시스템은 또한 여러 개의 인터 록 (interlock) 과 압력 모니터링 시스템 (pressure monitoring system) 을 포함한 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 복잡한 프로세스에 대한 탁월한 기능 외에도 APPLIED MATERIALS Producer SE 는 사용 및 유지 보수가 용이합니다. 모듈식 (modular) 설계로 설치 및 유지 보수가 간편해지며, 광범위한 공정 화학 물질과 호환됩니다. 원자로는 AMAT AMATPC 소프트웨어로 구동되며, 이를 통해 사용자는 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한, 원격 프로세스 모니터링을 통해 문제를 쉽게 해결할 수 있습니다. 생산자 SE (Producer SE) 는 모든 연구 또는 생산 설정에 적합한 고급 단일 웨이퍼 반도체 원자로입니다. 다양한 기능을 통해 사용자에게 유연성, 일관된 결과를 제공하지만, 쉽게 제어할 수 있는 설계를 통해 사용자 친화적 (user-friendly) 으로 만들 수 있습니다.