판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293625379

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 293625379
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
CVD System, 12" Process: PETEOS 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 박막의 대량 증착 생산을 위해 설계된 고급 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 혁신적인 디자인은 고해상도 풀 에어리어 서셉터 (full-area susceptor) 를 특징으로하며, 넓은 지역에 대한 등각 필름 증착과 간단한 재 초점이 가능합니다. AMAT Producer SE는 견고한 스테인레스 스틸 인클로저로 구성되어 있어 운영 및 유지 보수가 용이합니다. 이 시스템은 고급 플라즈마 제어 전략 (Plasma Control Strategy) 과 센서를 갖추고 있으며, 전체 기판 영역에 걸쳐 안정적이고 균일 한 증착 매개변수를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체, 광전자 및 MEMS 시장을 위해 고급 재료의 높은 처리량과 균일 한 증착을 제공합니다. 이 장치는 대형 감수기 및 풀 에어리어 가스 주입을 특징으로하는 대규모 증착 응용을 위해 설계되었습니다. 이 구성을 사용하면 처리량이 많은 프로세스 시간을 통해 두께, 컴포지션, 성능 균일성이 균일해집니다. 생산자 SE의 진공 공정 챔버 (vacuum process chamber) 는 견고한 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되며 비접촉 단일 포인트 방사형 물개가 제공되며 고급 플라즈마 제어 옵션이 제공됩니다. 약실은 누수 감지 및 화학 순도 모니터링을 포함하여 화학 증기 증착을위한 안정적인 환경을 제공합니다. 공정 챔버 (process chamber) 와 기계 외부의 절연은 온도 안정성과 신뢰성을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 프로세스 레시피의 성능을 모니터링하고 프로세스 옵션의 최적화를 지원하는 통합 진단 도구를 사용합니다. 또한 MEMS 등급 장치 전송 메커니즘 (MEMS-grade device transfer mechanism) 을 제공하여 기판을 주 프로세스 챔버로 이동 및 정렬하고 프로세스 영역에서 추출합니다. AMAT Producer SE는 AMAT SpectraBrite Software로 구동되며, 효율적인 운영 및 유지 관리를 위해 사용이 간편한 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 가스 흐름 속도 (gas flow rate), 차등 압력 (differential pressure) 및 온도 프로파일 (temperature profile) 과 같은 모든 프로세스 매개변수를 쉽게 제어할 수 있습니다 이 소프트웨어는 또한 고급 프로세스 레시피 최적화 (process recipe optimization) 를 제공하여 처리 매개변수를 신속하게 최적화하고 필름 균일성을 향상시킵니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 박막 생산을 위해 특별히 설계된 고급 CVD 자산입니다. 높은 증착율, 고해상도 풀 에어리어 서셉터, 고급 제어 전략 및 센서, 신뢰성 있고 균일 한 증착을 결합하여 대규모 증착 응용에 이상적인 선택입니다. 사용 편이성, 내장형 진단 기능, 통합형 SpectraBrite 소프트웨어를 통해 중요한 선택으로, 모든 반도체 제작 프로세스의 핵심 요소입니다.
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