판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293614935

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 고성능 반도체 생산을 위해 설계된 반도체 제작 장비입니다. 첨단 자동화 기술 (Advanced Automation Technology) 과 정밀도 (Precision Tools) 를 통해 광범위한 웨이퍼를 빠르고 정확하게 생산할 수 있습니다. 이 시스템은 9 로봇 생산 라인으로 배열 된 이중 챔버, 단일 웨이퍼 처리 모듈로 구성됩니다. 두 개의 챔버 (chamber) 는 고속 동시 프로세스를 수행하기 위해 독립적으로 작동합니다. 각 챔버에는 웨이퍼 처리 프로세스를 수행하는 MEE (Modular End-Effector) 로봇이 장착되어 있습니다. MEE 로봇을 사용하면 장치가 병렬 프로세스 로드 잠금 (load-lock) 을 실행하여 처리 처리량 및 효율성을 높일 수 있습니다. 2 개의 챔버에는 각각 2 개의 플라즈마 소스가 포함되어 있습니다. 하나는 에칭이고 하나는 프로세싱입니다. 소스는 향상된 기능을 가능하게 하는 여러 주파수의 플라즈마를 생성하도록 구성됩니다. 에칭 챔버에는 다중 노드 플라즈마 소스와 RF 생성기가 포함되어 있으며, 처리 챔버에는 단일 플라즈마 소스와 직류/무선 주파수 (DC/RF) 생성기가 포함되어 있습니다. 이 장비는 매우 선택적인 플라즈마 에칭 및 빠른 웨이퍼 처리를 허용합니다. 이 기계에는 샘플 프로세서, 필름 코팅 장치 및 온도 컨트롤러도 장착되어 있습니다. 샘플 프로세서는 처리 전과 처리 후 웨이퍼를 분석하는 데 사용되며, 필름 코팅 장치 (film coating unit) 는 기판에 박막을 배치하는 데 사용됩니다. 온도 제어기 (Temperature controller) 는 처리 챔버 내부의 대기 상태를 모니터링 및 조절하는 데 사용되어 안정적인 생산 과정을 보장합니다. 마지막으로, 이 도구에는 많은 검사 및 테스트 작업을 자동화하는 여러 머신 비전 (machine vision) 컴포넌트도 포함되어 있습니다. 이를 통해 다양한 웨이퍼의 고품질 생산을 보장할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT Producer SE는 광범위한 반도체 제품을 빠르고 정확하게 생산하도록 설계되었습니다. 고급 자동화 시스템과 매우 정확한 도구를 결합하여 빠르고 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리를 지원합니다. 에셋이 샘플 프로세서, 필름 코팅 (film coating) 및 머신 비전 (machine vision) 구성 요소를 통합하면 다양한 종류의 웨이퍼를 고품질 생산할 수 있습니다.