판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293614934

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (Split Electron Beam) 는 웨이퍼 레벨 처리를 위해 설계된 저진공 공정 원자로입니다. 필름 품질, 강력한 프로세스 기능, 안정적인 챔버 보호 (chamber protection) 등의 뛰어난 제어 기능을 제공합니다. CVD (chemical vapor deposition) 또는 etch 및 CMP (chemical mechanical planarization) 와 같은 범용 응용 분야에 적합합니다. AMAT Producer SE는 또한 복잡한 전구체 및 희귀 가스 어닐링 프로세스에 대한 높은 단편화 반응을 수행 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Producer SE의 원자로 챔버는 스테인리스 스틸로 구성된 원통형 디자인입니다. 챔버의 직경은 136cm이며 깊이는 20cm입니다. 한 번에 최대 20 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 다양한 크기와 두께의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 생산자 SE는 프로세스 제어 강화를위한 고급 전자 빔 소스를 갖추고 있습니다. 전자 빔 소스 (electron beam source) 는 작업 처리에 대한 반복성에 대해 높은 정밀도와 정밀도를 제공 할 것을 약속합니다. 빔은 웨이퍼에 수평으로 초점을 맞춘 에너지 전자를 생성합니다. 그런 다음, 증착 된 필름의 균일 성을 증가시키는 웨이퍼 격리 챔버 (wafer containment chamber) 를 때리면서 빔이 변조됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE는 저진공 모드에서 작동 할 수 있으므로 처리 시간이 빨라집니다. 원자로는 전자 빔 소스와 함께 전자 강화 화학 증기 증착 (E-CVD) 을 사용하여 필름의 증발 증착에서 효율성 및 균일성 향상을 위해 최적화 된 전력 전달을 제공한다. AMAT Producer SE의 E-CVD 기능은 집적 회로에 사용하기 위해 알루미늄과 같은 금속을 퇴적시키는 데 사용될 수 있습니다. 원자로는 또한 LCD 및 PDP 디스플레이에서 발견되는 박막 트랜지스터 (TFT) 제조에 사용되는 희귀 가스 어닐링 공정을 수행 할 수있다. 이 모든 프로세스에는 고온이 필요하며 통합 제어 시스템 (Integrated Control System) 을 사용하여 자동화할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Producer SE 는 고급 기술과 함께 제공되며, 여러 자동화 툴을 사용하여 사용자가 작업, 제어 프로세스, 결과 모니터링 등을 설정할 수 있습니다. 생산자 SE (Producer SE) 는 박막 처리에 이상적인 도구이며, 다양한 업종에서 많은 응용 프로그램을 보유하고 있습니다. 고급 프로세스 (Advanced Processes) 와 이 시스템이 제공하는 고정밀도 (High-Precision) 는 칩 제조업체, 디스플레이 제조업체 및 신뢰성 있는 박막 처리가 필요한 기타 산업에 이상적인 도구입니다.