판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293591459

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ID: 293591459
빈티지: 2005
PECVD System, 12" Does not include Hard Disk Drive (HDD) Chamber A and B: Type: APF Gas name / MFC Size C3H6 / 3000 SCCM NF3 / 1000 SCCM O2 / 15000 SCCM AR / 10000 SCCM HE / 5000 SCCM O2 / 10000 SCCM Ar / 10000 SCCM N2 / 15000 SCCM He / 1000 SCCM RF (High frequency): 13.56 MHz, 3 kW (maximum) Remote plasma: 400 kHz, 10 kW (maximum) 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 고급 칩 제조를 위한 업계 최고의 통합, 가동 시간 및 처리량을 제공하는 최첨단 반도체 제조 원자로입니다. AMAT Producer SE는 최고의 반도체 제조 기능을 제공하여 최대 8 인치 직경의 웨이퍼 처리를 제공합니다. 원자로는 DE HDD (Diamond Edge Rapid Deposition) 및 IDEALD이며, 증착률 향상 및 외장 안정성 향상을 위해 옵션 업그레이드가 제공됩니다. 이 설계에는 9 존 (zone) 다중 바구니 로더 및 고 (high-throughput) 클러스터 증착 오븐을 포함하여 처리량을 극대화하는 고급 기능이 있습니다. 전체 시스템은 수작업 (Manual Operation) 을 제거하고 가동 중지 시간을 줄이면서 칩 제조의 정확성과 효율성을 보장하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Producer SE Reactor는 열 이미징 기술 및 고급 프로세스를 사용하여 고유 웨이퍼 응용프로그램을 위한 탁월한 수준의 맞춤형 (tailoring) 을 제공합니다. 이 시스템은 웨이퍼 개수와 스택 구성을 기반으로 빠르고 정확한 로드 매치업을 제공합니다. 고급 공정 제어 시스템 (Advanced process control systems) 은 온도, 압력 및 가스 반응 조건을 관리하여 고급 재료의 정밀 적용을 보장합니다. 견고한 프로세스 제어 시스템은 또한 증착 프로세스의 균일성을 제공하며, 다중 바구니 구성에서도 균일성을 제공합니다. 혁신적인 이중 관찰 기술을 통해 사용자는 프로세스와 결과를 모두 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 고급 유체 동적 제어 (Advanced Fluid Dynamic Control) 는 두께, 컴포지션 및 서피스 텍스처를 제어하여 균일한 재료 전달을 보장합니다. 원자로 (Reactor) 는 고급 스캐닝 및 이미징 기술로 설계되어 실시간으로 웨이퍼를 분석하고 물질이나 공정 편차를 감지합니다. 또한, 생산자 SE는 고급 표면 검사 기술을 적용하여 균일 한 표면 마무리를 보장합니다. 다용도 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 사용자의 요구에 맞게 구성이 가능하며 기존 운영 시스템과 완벽하게 통합됩니다. 또한 다른 소스의 재료와 호환되며 고급 신호 처리 (advanced signal processing) 알고리즘을 통해 재료 차이를 신속하게 식별 할 수 있습니다. AMAT Producer SE는 최첨단 GUI (Graphical User Interface) 를 포함하여 동급 최강의 다양한 구성 요소를 제공합니다. GUI 를 사용하면 연결 (Connecting) 에서 작업을 관리하고 프로세스를 제어하여 작업 스케줄링 및 관리를 수행할 수 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE 원자로는 전례없는 수준의 프로세스 제어, 정확성 및 속도를 제공합니다. 이 정교한 반도체 제조 장치는 효율적인 처리, 최대 처리량, 완벽한 정확성을 제공합니다. 업계 최고 수준의 강력한 통합 기술로 모든 Wafer 프로세싱은 애플리케이션에 관계없이 일관되게 정확합니다.
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