판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE+ #293591355

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE + 는 다양한 특수 반응성 재료 합성 및 증착 프로세스를 위해 설계된 고성능 증착 장비입니다. SE + 시스템은 높은 진공 환경에서 다중 소스, 다중 원소 증착을 제공하는 단일 웨이퍼 배치 원자로입니다. 이 장치는 얇은 필름, 하드 마스크, 기타 얇은 필름 및 반도체 재료 (두께 범위가 1nm ~ 10jm) 를 생산하는 데 사용됩니다. SE + 는 완전히 자동화되어 다양한 프로세스 옵션과 제어 기능을 제공합니다. SE + 는 산화제, PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition), PVD (physical vapor deposition) 및 ALD (atomic layer deposition) 와 같은 고급 기술을 사용합니다. 머신은 또한 원하는 결과에 따라 노출 시간 (time) 과 압력 시간 (pressure time) 을 제어하여 가변 프로세스 두께를 갖습니다. SE + 는 또한 높은 처리율에서 뛰어난 균일성을 가진 다양한 필름을 만들 수 있습니다. SE + 에는 고품질 필름을 제공하는 고급 온도 (Advanced Temperature) 및 챔버 압력 제어 (Chamber Pressure Control) 가 있으며 다양한 기판과 호환됩니다. 그것은 탄화수소, 산소 및 기타 비활성 가스를 포함하는 산화 모듈을 포함한다; 또한 더 높은 기질 온도 및 압력 범위를 유지할 수 있습니다. 기판은 완전 자동화 된 밀봉 챔버 (sealed-chamber) 도구에 배치되며, 모든 처리는 내부에서 이루어지며, 추가 증착 후 정리, 처리 및 중간 단계 정리가 필요하지 않습니다. 에셋은 또한 최적의 프로세스 균일성과 증착 매개변수 제어를 위해 설계된 챔버 형상 (chamber geometry) 을 특징으로합니다. 또한, 챔버는 적절한 전구체 공급을 보장하고 모든 프로세스를 반복 가능하게하기 위해 고효율 GSIS (Gas Sequential Injection Model) 로 둘러싸여 있습니다. 또한 SE + 는 직관적이고 자동화된 튜닝 기능과 증착 매개변수의 전문가 장비 최적화 (expert equipment optimization) 를 갖추고 있으며, 각 증착 실행에서 재현 가능한 박막 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 여러 프로세스 소스와 다양한 프로세스 기술 (예: 저항 가열, 레이저 감지, 다중 하드웨어 업그레이드 옵션) (옵션) 로 확장 가능합니다. 요약하면, AMAT Producer SE + 는 반응성 재료 합성 및 증착 프로세스를 최적화하기 위해 설계된 고성능 단일 웨이퍼 배치 원자로 장치입니다. 정밀도, 균일성, 처리량이 높은 다양한 박막, 하드 마스크, 기타 박막, 반도체 소재를 만들 수 있습니다. 또한 SE + 에는 고급 온도 및 챔버 압력 컨트롤, 최적의 프로세스 균일성 및 매개 변수 제어를 위해 설계된 챔버 형상, 고효율 GSIS (Gas Sequential Injection Machine) 및 직관적이고 자동화된 튜닝 및 전문가 도구 최적화가 제공됩니다.