판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9296926

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S는 반도체 소자 제조, 나노 와이어 증착, 박막 증착, 태양 광 발전 등 다양한 산업 공정을 가능하게하는 멀티 챔버, 분할 형 반응 시스템입니다. 원자로는 3 개의 챔버 (대피 전 챔버, 초고 진공 챔버 및 적재 실) 로 구성됩니다. 레이아웃은 다른 응용 프로그램에 쉽게 적용 될 수 있으며, 전체 시스템을 10 피트 (3m) 미만의 단일 벤치탑 공간에 장착 할 수 있습니다. 대피 전 챔버 (pre-evacuation chamber) 는 로드록 챔버 (loadlock chamber) 와 초고진공실 (ultra-high vacuum chamber) 의 압력을 낮추는 데 사용됩니다. 또한 침착을 촉진하기 위해 저온 진공을 소개하는 역할을합니다. 적재실 (loadlock chamber) 은 진공을 깨지 않고 초고진공실 (ultra-high vacuum chamber) 에 기판 보유자를 적재 할 수 있도록 설계되었습니다. 로드 락 챔버 (loadlock chamber) 는 섭씨 약 85도로 가열되어 기판 탈착을 돕고 입자 생성을 줄입니다. 초고진공실은 최대 2x10-7torr의 압력에 도달 할 수 있습니다. 이 방은 실제 증착이 이루어질 곳입니다. 반응 챔버에는 차폐 된 석영 냉벽 뷰포트, 가스 매니 폴드, 전기 피드 스루, 고강도 램프 및 용기가 장착되어 대기를 이온화시킵니다. 이 방은 기판 조작 및 증착을 가능하게하기 위해 다양한 유형의 홀더 (예: 웨이퍼 홀더, 기판 홀더) 를 수용하도록 설계되었습니다. AMAT 생산자는 PEVCD (plasma-enhanced chemical vapor deposition), CVD (chemical vapor deposition) 및 스퍼터링을 포함한 다양한 고급 기술을 지원합니다. 이러한 공정은 실리콘 웨이퍼 및 기판에 박막 증착, 나노 입자 및 나노 구조 생성, 금속, 반도체 및 유전체 필름의 증착을 촉진한다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS PRODUCER-S (APPLIED MATERIALS PRODUCER-S) 는 공간 절약형 단일 설계에서 광범위한 산업 공정이 가능한 다용도 원자로입니다. 이 구성을 통해 프로세서는 안전하고 안정적인 시스템을 유지하면서 고급 제조 공정에 필요한 압력, 온도, 진공 (vacuum) 수준을 달성할 수 있습니다.