판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9251468
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ID: 9251468
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
CVD System, 8"
Shrink type
(2) Twin chambers
Controller: Legacy type
L/L and Xfer pump: EDWARDS IPX
Chiller: Steel head
AC Box
UPS
Chamber A and B:
Process: P-TEOS (PSG)
RF: ADVANCED ENERGY RFG2000-2V
LF: ENI QUANTA-10
RPS: ASTRON 2L (F120620-1)
Chamber A:
Gas panel:
Gas / Max flow / Make / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 3 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
N2O / 2 slm / STEC / SEC-4400
SiF4 / 2 slm / STEC / SEC-4400
TEOS / 4 g/min / STEC / LF-410-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
Chamber B:
Gas panel:
Gas / Max flow / Maker / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
TEOS / 4 g/min / ST EC / LF-410A-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S는 IC 장치 및 기타 부품 생산을 위해 설계된 스핀 온 증착 (SOD) 원자로입니다. 집적 회로, MEMS 장치 및 기타 광전자 부품의 대용량 생산에 사용할 수 있습니다. AMAT 생산자 (AMAT PRODUCERS) 원자로는 광범위한 온도, 압력, 가스 흐름을 제공하기 위해 특별히 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 다양한 재료에 대해 최적화된 프로세스 조건을 얻을 수 있습니다. APPLIED MATERIALS PRODUCER-S (APPLIED MATERIALS PRODUCER-S) 원자로에는 고도의 고급 처리량 클러스터 장비가 장착되어 있어 장치 제작 프로세스의 시작부터 끝까지 연속적인 작동이 가능하며, 균일하고 반복 가능한 이미징 결과를 제공합니다. S 원자로에는 이중 행 가스 인젝터 (dual-row gas injector) 와 저류 혼합 시스템 (low-flow mixing system) 이 장착되어 있으며, 이는 박막의 정확한 강착을 위해 온도 및 압력 제어를 모두 향상시킵니다. 또한 뛰어난 박막 증착을 달성하기위한 통합 온도 모니터링 및 제어 장치가 있습니다. 기계는 가열 된 ID 챔버, 선택 가능한 온도의 가열 요소, 대류 플레 넘 및 원하는 압력을 유지하기 위한 진공 펌프로 구성됩니다. S 원자로 (S reactor) 는 프로세스 매개변수에 대한 엄격한 제어를 유지하면서 높은 수준의 생산성과 생산성을 보장하도록 설계되었습니다. 정밀한 균일성 및 반복성을 가진 재료의 증착이 필요한 3D 구조를 포함한 고급 IC 장치 생산에 사용할 수 있습니다. 제어 도구는 ASCODE 매핑 알고리즘을 사용하여 모든 프로세스 조건이 전체 실행에서 유지되도록 합니다. 에셋에는 원자로 작동을 제어하는 소프트웨어 지원 피드백 루프도 포함되어 있습니다. AMAT PRODUCER-S 원자로는 높은 처리량, 낮은 TCO (소유 비용), 탁월한 프로세스 제어를 통해 IC 장치 및 기타 구성 요소를 제작하는 데 강력하고 안정적인 도구입니다. 이 모델은 구매 및 운영 비용이 저렴하여 낮은 TCO (총소유비용) 로 고품질 IC를 생산할 수 있습니다. 또한 연구 개발 (Research and Development) 과 상용 응용 프로그램 (Commercial Application) 용 컴포넌트를 대규모로 제작하는 데 적합합니다.
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