판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9235472

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S는 고급 반도체 정화 및 증착 공정을 위해 설계된 e-beam-evaporator 기반 원자로입니다. AMAT 생산자는 반도체 산업을 위해 제조 된 고급 에치 클린 (etch-clean) 및 증착 원자로의 AMAT 라인업의 최신 도구입니다. 이 원자로는 APPLIED MATERIALS 정밀 설계 및 엔지니어링 우수성과 결합된 최신 공정 및 재료 혁신을 통합합니다. APPLIED MATERIALS PRODUCER-S는 단일 e-beam 증발기를 사용하여 뛰어난 에지 프로파일링 및 균일 한 커버리지를 제공합니다. 웨이퍼 가장자리에 정확한 증착을 전달하는 능력으로 AMAT 생산자 S (AMAT Producer S) 는 가장자리의 정확도를 높이고 선의 측면의 변색을 최소화합니다. 증발 챔버 (evaporation chamber) 는 정밀 동작 제어를 사용하여 빔 (beam) 의 위치와 빔 (beam) 발자국의 크기를 정확하게 제어합니다. 이를 통해 프로세스 중에 웨이퍼에 균일 한 증착을 달성 할 수 있습니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 는 저 가스, 부식 내성 합금으로 만들어졌으며, 최신 클린 룸 엔지니어링을 사용하여 웨이퍼와의 상호 작용을 위해 깨끗하고 입자가없는 환경을 보장합니다. 챔버에는 열 관리 시스템 (thermal management system) 과 RF 쉴드 케이지 (shield cage) 가 포함되어 있으므로 원하는 온도에서 최적의 에치 클린 프로세스가 가능합니다. APPLIED MATERIALS Producer S는 또한 고정밀 다중 채널 질량 흐름 컨트롤러 (high-precision multi-channel mass flow controller) 및 가스 부족 시스템 (gas abatement system) 과 같은 여러 고급 프로세스 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 에치 클린 (etch-clean) 및 증착 공정을 정확하게 제어 할 수있는 여러 개의 레이저 기반 광학 척 (optical chuck) 과 전체 청소 공정의 효율적인 제어를 지원하는 고속 난방 및 냉각 장치가 장착되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCTERS가 제공하는 고급 에치 클린 (etch-clean) 및 증착 프로세스는 균일 한 범위와 향상된 장치 성능을 보장하여 고급 반도체 처리 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다.