판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9013303
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ID: 9013303
웨이퍼 크기: 8"
TEOS PECVD system, 8"
System Overview:
Technology DCVD
Platform Type PRODUCER SE
Wafer Size 200MM (8 INCH)
Wafer Shape SNNF
Position A (XY) PE TEOS TWIN
Position B (XY) PE TEOS TWIN
Position C (XY) PE TEOS TWIN
Position A Process (09) TEOS
Position B Process TEOS
Position C Process TEOS
System Software:
System software Latest qualified version V3.4_12
GP Latest qualified version P 133
Factory Interface System 5.4 FI, Options:
Number of Loadports Number of Loadports 2
Metrology Unit Nano Nanometrics
Light Towers 4 COLOR CONFIGURABLE LIGHT TOWER YES
MainFrame Options:
Rear MF Light Tower RAGB No NO
Remote Options, System Monitors:
First Local Monitor STAND ALONE, 15 Inch
Second Local Monitor TTW WITH KEYBOARD, 15 inch
Remote Options, Heat Exchanger:
System Heat Exchanger Qty ONE Steelhead 1
AMAT HX Hoses and Manifolds NO YES
Pumps:
Transfer chamber Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Chamber A Roughing pump Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Chamber B Roughing pump Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Chamber C Roughing pump Customer supply, MUST meet GT SSPS Specifications!
Customer Fab Options:
System Power Mainframe 208V 300A 208V 3 Phase, 4 Wire 300A
Customer EMO Interface 24V AC
ChA-B-C, (XY) PE TEOS TWIN:
(2) Robot Blades Aluminum
RF Generator 1
RF Generator 2
(2) Heater HA-12 TIGHT RF MESH WITH CLAMP TYPE 2
(2) Rf Filter Rev ? RF filter
Foreline TV 2 1/2-inch heated throttle valve
Foreline ISO 2 1/2-inch heated ISO valve
RPS Astron EX RPS
ChA, (XY) PE TEOS TWIN, Gas Box Options:
Gas Pallet Type TEOS ONLY
ChA-B-C, (XY) PE TEOS TWIN, Gas Box Configuration, Gas Section:
Line 1 Empty
Line 2 Empty
Line 3 O2- 5SLM
Line 4 N2 Purge
Line 5 Ar- 5SLM
Line 6 NF3- 3SLM
Line 7 Empty
Line 8 Empty
Line 9 He- 5SLM
Line 10 Liquid Purge
Line 11 Empty
Line 12 Empty
Line 13 Empty
Line 14 Liquid Pos 1 TEOS- 4.0 g/min
ChA, (XY) PE TEOS TWIN, Process Abatement:
Abatement TCS
ChA, (XY) PE TEOS TWIN, Process Kit, TEOS:
(2) Gas Box Gas Box - Bypass 0040-53927
(2) Blocker UHD Blocker,200mm Producer 0021-09914
(2) Faceplate,TEOS Faceplate,200mm Producer 0021-01813
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S는 효능과 성능으로 유명한 고급 원자로입니다. 기판에 다양한 재료를 배치하여 다양한 제품을 만드는 데 사용됩니다. 일반적으로 PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) 원자로로 기능하며 반도체 산업에서 가장 널리 사용되는 도구 중 하나입니다. AMAT 생산자 (AMAT PRODUCERS) 는 혈장을 증착실에 균등하게 분배하여 고품질 및 균일 한 코팅을 제공하는 독특한 디자인을 사용합니다. 고급 난류 (turbulent flow) 장비를 사용하여 최적의 프로세스 균일성과 반복성을 생성합니다. 이 설계는 모든 운영 단계가 마이크로 (micro) 부품 및 집적 (integrated) 회로 장치의 생산에 최적화되도록 합니다. 이 시스템은 효율성을 극대화하고 주기 (cycle) 를 완료하는 데 필요한 시간을 줄여주는 다양한 고급 (advanced) 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 원자로 (reactor) 가 더 빠르고 중단이 적도록 원하는 프로세스를 자동으로 전환하는 이중 챔버 (dual-chamber) 설계가 포함됩니다. 또한, 자동 종료 장치는 기계 전체에서 균일 한 프로세스 조건을 유지하는 데 도움이됩니다. APPLIED MATERIALS PRODUCER-S는 정확하고 비교할 수없는 정확성을 위해 설계되었습니다. 즉, 사용자는 최적의 프로세스 조건을 검증하고 확인하는 데 필요한 툴을 제공합니다. 이는 실시간으로 모니터링할 수 있는 다양한 진단 프로그램을 통해 이루어집니다. 모든 관련 매개변수 (parameter) 는 프로덕션 프로세스 전반에 걸쳐 모니터링할 수 있으며, 프로세스가 잘못되면 운영자가 신속하게 개입할 수 있습니다. 원자로는 또한 쉽게 유지되도록 설계되었습니다. 고급 기능은 장수와 성능을 보장합니다. 이러한 혁신적인 기능과 함께, 이 도구는 운영자에게 안심할 수 있도록 몇 가지 안전 (safety) 기능을 제공합니다. 일단 안전 지침 (Safety Guideline) 에 따라, 사용자는 자산의 견고한 설계를 활용할 수 있으며, 문제 없이 여러 프로세스를 실행할 수 있습니다. 생산자-S (PRODUCER-S) 는 탁월한 다용도와 성능을 제공하는 놀랍도록 진보되고 신뢰할 수있는 원자로입니다. APPLIED MATERIALS 생산자 S (APPLIED MATERIALS Producer S) 는 효율적인 디자인과 고급 기능으로, 최고의 정확성을 갖춘 고품질 제품을 생산하고자 하는 모든 사람에게 적합한 제품입니다.
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