판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #177862
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판매
ID: 177862
System, SABPSG
Front End: Manual FE
Buffer pump: IPX100
Wafer sensor: WPS
Chamber position: A, B, C
Chambers A, B, C:
Lift assembly Installed
Pressure gauge Installed
RFG AE RFG-2000
RPS MKS FI20620
P-kit Installed
Ozone rack: Yes
Gas panel
SLD: Yes
MFC UNIT 8161/8160
Transducer MKS w/o display
Line L3 Empty
Line L2 Empty
Line L1 Empty
Line 1 O3
Line 2 O2 20 slm
Line 3 N2
Line 4 NF3 10 slm
Line 5 N2 5 slm
Line 6 Ar 20 slm
Line 7 Empty
Line 8 He 20 slm
Line 9 N2 20 slm
Line 10 N2 purge
Line R1 Empty
Line R2 Empty
Line R3 Empty
PLIS:
TEOS Yes
TEPO x (line ready)
TEB x (line ready)
Liquid line Yes
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S는 화학 증기 증착 (CVD) 및 원자층 증착 (ALD) 박막 공정에 사용되는 고 처리량 모듈러 단일 웨이퍼 도구입니다. 이 도구는 소형 설계 (compact design) 를 통해 더 작은 제조 공간에 쉽게 맞출 수 있습니다. 또한 온도 범위가 넓어 어떠한 생산 요구에도 적응할 수 있습니다 (영문). AMAT 생산자는 높은 수준의 안전 및 오염 감소 조치로 설계되었습니다. 운영 수준, 프로세스 매개변수, 온도를 자동으로 조정하여 오버런을 방지하고 운영 정합성을 유지하는 폐쇄 루프 제어 (closed loop control) 장비가 내장되어 있습니다. 자동 제어 시스템은 또한 프로덕션 중 작동 오류 가능성을 줄입니다. APPLIED MATERIALS PRODUCER-S는 2 챔버 공정 챔버 구성에서 작동합니다. 제 1 공정 "챔버 '는 여러 종류 의 재료 를 처리 하도록 설계 되었으며, 제 2 공정" 챔버' 는 박막 증착 전 에 기판 을 청소 하는 데 사용 된다. 두 챔버 모두 동시에 가열 할 수 있으므로 생산이 빨라집니다. AMAT 생산자 S (AMAT Producer S) 는 고급 자동화 장치를 장착하여 생산 프로세스의 모든 측면을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 도구는 수동 모드와 자동 모드를 모두 통해 작동할 수 있습니다. 또한 최신 모션 컨트롤 머신 (motion control machine) 이 장착되어 기판 홀더의 이동과 CVD/ALD 소스 재료 인젝터의 노즐을 제어 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER-S는 비용을 절감하고 제조를 개선하는 데 도움이 되는 다양한 기능을 제공합니다. 기판 적재 및 언로드 용 로봇 암 (robotic arm) 과 스케줄 지정 및 최적화 용 소프트웨어 툴 (software tool) 이 있습니다. 로봇암 (robot arm) 은 사람의 오류로 인한 오류 가능성을 줄이는 데 도움이 되며, 소프트웨어 자산은 다운타임을 줄이는 데 도움이 됩니다. PRODUCER-S는 박막 코팅을 생산하기위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 고급 자동화 모델 (Automation Model) 과 안전 측정 (Safety Measures) 을 통해 박막 증착 요구를 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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