판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9240095
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ID: 9240095
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
CVD System, 8"
(3) Twin chambers
Platform: Producer S
Wafer shape: SNNF
Load lock:
Cassette type, 8"
Fast vent option
Mainframe:
Buffer robot type: VHP
FI Robot type: Manual
Buffer robot blade
Chamber A: Producer APF
Chamber B: Producer DARC
Chamber C: Producer SAUSG
(2) Heater exchangers: Steelhead 0
Chiller MX-500
O3 Rack
Front end type: Manual
Front end robot: PRI BROOKS ABM407
Buffer robot: VHP
Transfer pump: IPX Pump
Chamber slit valve / LL Door: VAT
L/L Gauge
Hard disk
Floppy disk: 1.44 M
Chamber A: (APF)
Chamber parts:
Gas feedthrough assy
Gas box
Face plate
Heater / TC: OEM
Pressure gauge: MKS 20 Torr / MKS 100 Torr
RF Power:
RF Generator: ADVANCED ENERGY 2000-2 V
Match type: ADVANCED ENERGY Fixed match
Gas panel: C3H6, Ar, He, O2
Vacuum system:
Throttle valve: MKS 253B-24627
ISO Valve: MKS
Chamber B: (DARC)
Chamber parts:
Gas feedthrough assy
Gas box
Face plate
Heater / TC: OEM
Pressure gauge: MKS 100 Torr / MKS 10 Torr
RF Power:
RF Generator: ADVANCED ENERGY 2000 - 2 V
Match type: ADVANCED ENERGY Fixed match
RPS Type: MKS ASTEX
Gas panel: CO2, N2O, He, NF3, SIH4
Vacuum system:
Throttle valve: MKS 253B-24627
ISO Valve: MKS
Chamber C: (SAUSG)
Chamber parts:
Gas feedthrough assy
Gas box
Face plate
Heater / TC: OEM
Pressure gauge: MKS 20 Torr / MKS 1000 Torr
RF Power:
No RF generator
No match
RPS Type: (MKS ASTEX)
Gas panel: O2, NF3, Ar, He, O3, TEOS
Vacuum system:
Throttle valve
ISO Valve
Light tower: RYGB
Power: 208 V, 50/60 Hz
Full load current: 240 A
CE Marked
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III Reactor는 고온에서 기판을 생산하도록 설계된 제조 기계입니다. 이것은 반도체, 단단한 재료, 부족 물질을 처리하기위한 고급 원자로입니다. 원자로는 주로 반도체 연구, 생산 및 자동화 테스트에 사용됩니다. 원자로는 별도의 온도에서 작동하는 3 개의 챔버로 구성됩니다. 첫 번째 챔버는 최대 2000 ° C, 두 번째 챔버는 최대 1000 ° C, 세 번째 챔버는 최대 500 ° C에 도달 할 수 있습니다. 원자로에는 방의 압력을 조정하는 게이트 밸브 (gate valve) 가 장착되어 있습니다. 생산자 III 원자로에는 3 개의 챔버를 동시에 냉각시키는 고급 냉각 장비가 장착되어 있습니다. 이 냉각장치는 원자로를 시동하는 데 걸리는 시간을 줄이고 열폭주 (thermal runaway) 가 발생하는 것을 방지하기 위해 고안된 것이다. 생산자 III 원자로에는 장애 안전 장치 (failsafe unit), 다중 안전 인터 록 (safety interlock) 및 비상 종료를 포함한 고급 안전 기능이 있습니다. 원자로에는 또한 외부 환경으로부터 원자로를 분리하는 정전기 격리기 (electrostatic containment machine) 가 있습니다. 원자로는 또한 기판에 꾸준하고 균일 한 재료 필름을 뿌리는 ID AMAT 독점 증착 도구 (ID AMAT proprietary deposition tool) 를 사용하여 재료를 효율적으로 처리하도록 설계되었습니다. 이 증착 자산은 원하는 온도에 빠르고 효율적으로 도달 할 수 있습니다. 이 고급형 원자로는 질화, 산화, 빠른 열 처리, 증착 등 다양한 과정을 수행 할 수 있습니다. AMAT 생산자 III 원자로 (AMAT Producer III Reactor) 는 반도체 업계에서 기판을 생산하는 데 사용되는 다재다능하고 효율적인 도구입니다.
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