판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9223653

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III
ID: 9223653
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2002
PECVD Deposition system, 8" Multi chamber 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III는 반도체 및 관련 고급 재료 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 에치 및 증착 원자로입니다. 이 장비는 에치 (etch) 및 증착 가스 (deposition gase) 의 완전한 보완과 함께 정확한 온도 및 압력 조절을 통해 도가니 인 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 세라믹 튜브를 중심으로 설계되었습니다. 통합 에치 소스 (integrated etch source) 는 우수한 프로세스 균일성과 정밀성을 제공하며, 에치 레이트와 에치 선택성을 정확하게 제어합니다. 증착원은 신뢰할 수 있으며, 광범위한 프로세스 유연성과 제어 기능을 제공합니다. AMAT Producer III는 실리콘, 탄소 및 질화물 필름과 같은 재료에 대한 열, CVD 및 증발 프로세스를 포함한 다양한 재료 증착 기능을 제공합니다. 고급 증착 공정 (Advanced deposition process) 은 결함 밀도가 매우 낮으며 높은 수준의 반복 성을 제공합니다. 또한, 높은 정도의 공정 제어 (process control) 를 사용하여 최소한의 접시와 결함이 있는 극도로 균일한 레이어를 만들 수 있습니다. 에칭 기능 측면에서, 시스템은 습식 (wet) 및 플라즈마 (plasma) 프로세스를 모두 처리 할 수 있으며, 극도의 정확도로 재료를 에치하기 위해 높은 정밀도 및 선택성을 사용합니다. 통합 제어 장치 (Integrated Control Unit) 는 Etch Rate 및 선택성에 대한 실시간 피드백을 제공하여 최적의 프로세스 결과를 보장합니다. 또한, 이 기계는 다양한 재료를위한 다양한 사전 프로그래밍 된 에치 프로토콜 (etch protocol) 과 특정 프로세스에 대한 사용자 정의 프로토콜을 만드는 기능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS 생산자 III 원자로는 로봇 암의 통합 도구 인 생산자 모듈 식 서비스 스테이션 (Producer Modular Service Station) 과 함께 제공되며, 사전 정의 및 사용자 정의 가능한 프로세스 시퀀스를 위해 구성된 단계별 자동화 기능이 있습니다. 이 자산을 사용하면 샘플 로드, 샘플링, 웨이퍼 정렬, 처리 등 다양한 프로세스 작업을 빠르고 효율적으로 완료할 수 있습니다. 결론적으로, 생산자 III (Producer III) 는 다양한 반도체 및 관련 고급 재료 응용 프로그램을 위해 설계된 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 이 모델은 광범위한 증착 및 에칭 기능, 프로세스를 자동화하는 통합 로봇 암 (robotic arm), 그리고 여러 배치 간의 높은 수준의 반복성을 보장하는 정확한 프로세스 제어 (process control) 를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III (AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III) 은 고급 재료 프로세싱에서 신뢰성과 성능에 대한 탁월한 기록을 통해 정확하고 반복 가능한 에치 및 증착 결과를 요구하는 모든 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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