판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9092388
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판매
ID: 9092388
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
BPSG System, 8"
Wafer shape: SNNF
Mainframe: Producer Split
SMIF: manual
Ozone generator: Astex
System controller UPS option: no
(2) Chambers: BPSG
Heater: ceramic
Clean method: remote plasma
Manometer: Dual 20/100 Torr
Chamber wall: 11.484 o-ring
Gas Delivery
MFC type: Unit 8160
Valves: Fujikin 5 Ra Max
Filters: Pall
Transducer: MKS w/o display
Regulators: Parker
O2 20L UNIT
NF3 3L UNIT
Ar 5L UNIT
He 10L UNIT
N2 20L UNIT
TEOS STEC
TEPO STEC
TEB STEC
Electrical requirements: 200/208V, 50/60Hz, 240A
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III는 다양한 필름 및 장치 응용 프로그램을 제공하기 위해 설계된 고성능, 고성능, 멀티 프로세스 원자로입니다. 특허를 획득한 고급 3 존 (3-zone) 설계를 통해 정확한 프로세스 설정과 뛰어난 제작의 균일성을 제공합니다. 원자로에는 자동화 된 2 축 포지셔너 (positioner) 가 있으며, 이는 전체 관심 영역에서 프로세스 제어 및 균일성을 향상시킵니다. 또한, 자체 조정 지원 샤프트 및 조절 가능한 기울기 각도는 처리를 위한 추가 유연성을 제공합니다. 개별 "가스 '와 공정 조절" 밸브' 는 정확 한 조정 과 독립적 인 작용 을 제공 하는 반면, 통합 장비 온도 관리 는 공정 안정성 을 더해 준다. 또한, 최첨단 제어 시스템은 도구의 다용도 및 사용 편이성 작업을 제공합니다. 이 고급 원자로는 또한 제작 중 반응 챔버의 최대 안정성과 정확성을 보장하는 새로운 전극 대 고정물 로킹 정렬 장치 (electrode-to-fixture locking alignment unit) 를 갖추고 있습니다. 또한, 폐쇄 루프 제어 및 온도 관리 머신을 통해 원자로는 원하는 온도에 빠르고 정확하게 도달 할 수 있습니다. 통합 진단 및 유지 관리 툴을 통해 실시간 (real-time) 기능을 제공하며 다운타임을 최소화하면서 프로세스 효율성을 극대화할 수 있습니다. 깨끗한 챔버 디자인은 오염이없는 생산 과정을 보장하여 반도체, 박막, 광전자, 화학 기계 및 진공 처리 분야의 다양한 응용 분야에 적합합니다. 또한 높은 균일성과 높은 처리량을 제공하는 여러 애플리케이션을 지원합니다. 여기에는 금속 증착, 에칭, 산화, 실리콘 질화, 실리콘 옥시-질화, BPSG 증착, SiO2 증착 및 수동화, 증발 박막 처리, 질화물 증착, 열 산화 및 분자 빔 표피 (MBE) 가 포함됩니다. 요약하면, AMAT Producer III는 신뢰할 수 있고 다재다능한 원자로, 다양한 박막, 광전자 및 공정 응용 프로그램에 대해 정확하고 높은 처리량을 제공합니다. 고급, 3 구역 디자인, 2 축 포지셔너, 조절 가능한 기울기 각도, 통합 온도 관리 및 폐쇄 루프 제어 자산이 특징이며, 제조 전문가에게 이상적인 선택입니다.
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