판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9070340

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III 원자로는 반도체 및 기타 장치, 제조에 사용하도록 설계된 일종의 화학 증기 증착 (CVD) 시스템입니다. 다양한 유기, 금속 및 세라믹 전구체를 사용하여 기판에 박막 증착 층을 생성하는 데 이상적입니다. AMAT Producer III는 수직 리프트 서셉터 플랫폼으로 설계되어 여러 프로세스 구성 및 최대 200mm 기판을 제공합니다. 강력한 빠른 시작 히터로 기판 가열이 달성됩니다. 원자로는 기본 압력 1x10-6 토르 (Torr) 로 설계되었으며, 최적의 성장률을 위해 최대 5 토르 (Torr) 의 고압을 달성 할 수 있습니다. 내장 디지털 전자 레인지 에너지원도 포함되어 있습니다. 이 이중 주파수 (Dual-Frequency) 소스는 유연한 전원 설정을 생성하여 정확한 도펀트 제어, 넓은 표면 영역 커버리지, 결과 필름의 개선 된 수정 품질을 제공합니다. 디지털 소스는 피드 스루 (feed-through) 연결의 감수성을 줄이고 고효율 필름 성장을 가능하게 하도록 설계되었습니다. 균일 한 증착률과 필름 두께를 보장하기 위해 APPLIED MATERIALS Producer III는 또한 45 MHz 신호와 270 kHz 플라즈마 소스를 최적 동질성을 위해 공급할 수있는 이중 주파수 펄스 소스로 설계되었습니다. 프로세스 자동화 측면에서, Producer III 는 전용 소프트웨어를 갖춘 ECS (Event Control System) 를 포함하고 있으며, 이를 통해 사용자는 자동화된 프로세스 시퀀스를 설계 및 통합할 수 있습니다. ECS 는 온도, 압력, 격리 수준을 모니터링하며, 레시피 실행, 단계별 프로세스 제어, 레시피 저장 등 제어 및 로깅 기능을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III에는 안전한 웨이퍼 로드 및 언로드를위한 틸팅 원자로도 포함되어 있습니다. 원자로 플랫폼의 알모레일 CAE (almorail CAE) 는 편리한 샘플 전송을 가능하게하며 다양한 기판 크기에 맞게 조정할 수 있습니다. 최대 안전을 위해 AMAT Producer III에는 다양한 시스템 내 보호 장치가 장착되어 있습니다. 여기에는 압력 감지, 배기 및 초크 밸브, 모터 드라이브 시스템, 질소 및 아르곤 퍼지 시스템이 포함됩니다. 이러한 시스템은 최적의 작업 상태를 유지하고, 운영자와 주변 환경을 모두 보호하도록 설계되었습니다.