판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9036838

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III는 반도체 웨이퍼의 높은 처리량 생산을 위해 설계된 정교한 8 스테이션 클러스터 도구입니다. 이 유형의 원자로는 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 첨단 장치 제작에 널리 사용됩니다. AMAT 생산자 III는 최대 900 ° C의 처리 온도를 지원할 수 있습니다. 기존 운영 라인 또는 새로운 설치에 통합 할 수있는 공간 절약형 디자인이 있습니다. 프로세스 레시피 (process recipe) 는 사용자 조정 가능하며, 시간, 온도 등의 매개변수가 직관적인 제어 소프트웨어에서 쉽게 수정됩니다. APPLIED MATERIALS Producer III의 챔버는 경량 알루미늄으로 구성되며 낮은 유지 보수 고무 블레이드로 밀봉됩니다. 그런 다음 챔버 내부에 고온 세라믹 절연 (high-temperature ceramic insulation) 이 늘어서 열 손실을 줄이고 외부 소스의 전기 간섭을 최소화합니다. 생산자 III에는 플라즈마 생산 및 조작을위한 고급 컴퓨터 제어 시스템이 있습니다. 최대 300W 전력을 출력할 수 있는 고효율 RF 발전기가 장착되어 있습니다. 따라서 크기, 모양, 전원 요구 사항에 관계없이 모든 웨이퍼에 균일한 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 에는 생산되는 동안 프로세스 결과를 시각적으로 검사할 수 있는 큰 보기 창도 있습니다. 또한, 작동 중에 다양한 센서가 주요 프로세스 매개변수를 감지하고 모니터링합니다. 이것은 높은 수율 표본과 전반적인 프로세스 안정성을 보장합니다. 안정적이고 일관된 프로세스 성능을 보완하기 위해 AMAT 는 진단 툴 (Diagnostic Tools) 과 온라인 기술 지원을 제공합니다. 이를 통해 운영자는 모든 문제를 파악하고 신속하게 수정하여 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III의 성능을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT Producer III는 다양한 생산 요구 사항을 충족시킬 수있는 유연하고 강력한 플라즈마 에칭 도구입니다. 안정성, 확장성, 안전한 작동을 위한 유사한 클러스터 툴 중에서 두드러집니다. 이러한 기능은 모든 반도체 생산 시설에 이상적인 옵션입니다.