판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9019704
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판매
ID: 9019704
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Dual SACVD chamber, 12"
P/N; 0242-14523
Process: BPSG
Iso Valve 0060-21442 rev b / 0060-76188 rev b
Throttle Valve 0010-14682
Foreline straight 0050-50173
Foreline elbow 0040-40886
Gas Manifold 0021-30143
LFM/Injector Manifold 3030-08008
Astron 0920-00057
Heater Transformer 211-0111-120 5 KVA
Heater Transformer 211-0101-120 5KVA
Heater Lift 0010-01418
Heater Driver 0090-00569
Pneumatic Switch Bank
Heater Ceramic 0040-04048
Heater Ceramic 0040-04048
Heater Filter 0090-01267,001
Specifications:
LFMs and injectors: STEC
TEOS, TEB, TEPO liquid delivery injection valves / lines
HFG: 0920-00107 AE 3000 RFG, AE PN: 3156114-003
LFG: ENI quanta-10D-01M1
Heat Controller: Johnson Electric Powerformer – Outdoor type 3R U/L
Gas box configuration:
Line 1: O3
Line 2: O2
Line 3: N2
Line 4: NF3
Line 5: N2
Line 6: Ar
Line 7: Empty
Line 8: N2
Line 9: He
Line 10: N2
Includes AMAT part numbers:
0040-03005
0040-61823
0040-51824
0040-03439
0040-01618
0021-06499
0040-04048
Missing parts:
Gas box enclosure
Gas box rails
Chamber support rails
Low frequency generator
High frequency generators
MFA / filter
Watlow heater contoller
Vapor line - heat trace
Foreline heater controller
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III (AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III) 은 극한의 온도와 압력에서 작동 할 수있는 다용도 원자로이므로 점점 더 정교한 연구에 이상적입니다. 원자로는 유연한 석영 밀봉을 사용하여 일관되고 안정적인 작동을 보장합니다. 내장형 진공 시스템 (vacuum system) 을 통해 높은 수준의 진공 무결성을 유지하면서 초고진공에서 고진공으로 빠르게 조정할 수 있습니다. Advanced Materials AMAT Producer III는 다양한 혁신적인 실험을 가능하게하도록 설계된 인상적인 기능을 자랑합니다. 원자로는 -90 ° C ~ 1150 ° C 범위의 정확한 온도를 생성 할 수 있으며, 독특한 가스 혼합 시스템을 사용하여 복잡한 반응 환경을 만들 수 있습니다. 또한 내장 질량 흐름 컨트롤러는 정확하고 반복 가능한 유량을 허용합니다. APPLIED MATERIALS Producer III는 합성, 에칭, 결정화, 민감화, 조사 또는 증착을 포함한 다양한 실험을 위해 복장 될 수 있습니다. 최대 40 리터 이상의 반응 챔버 크기로, 원자로는 빠른 저온 정화, 빠른 합성, 확산 펌프 (diffusion pump) 를 추가하여 진공 증대를 달성 할 수있다. 생산자 III는 또한 다른 도구와 통합하여 멀티 스텝 실험을 허용합니다. 여러 가스 제어 시스템의 경우 외부 가스 라인 (external gas line) 을 스플리터 (splitter) 에 연결할 수 있으며, 여러 샘플 실행의 경우 샘플 홀더를 추가할 수 있습니다. 원자로 는 정밀 한 온도 조절 과 "피드백 '을 위한 광학" 피로미터' 를 추가 하는 능력 으로 더욱 강화 된다. 생산자의 견고한 설계에는 통합 안전 시스템 (Integrated Safety System) 과 열 제한 장치 (Thermal Limiter) 가 포함되어 있어 정상적이고 극단적인 상황에서 안정적인 작동을 보장합니다. 그리고 다중점 온도 컨트롤러 (multipoint temperature controller) 와 이동식 창 (removable window) 과 같은 추가 기능을 통해 원자로는 연구자에게 최대의 다용성을 제공합니다. 전반적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III는 신뢰할 수있는 저온 작업 환경을 제공 할 수있는 고급 원자로이며, 과학자들은 광범위한 프로세스를 탐구 할 수있는 자유를 제공합니다. 특정 한 실험 에 맞추어 사용 할 수 있는 여러 가지 특징 과 능력 이 있어서, 현대 연구가 들 에게 매우 귀중 한 도구 가 됩니다. "깨어라!"
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