판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT3 #293610775

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT3은 고급 열 화학 증기 증착 원자로로, 사용자가 기판 증착 요구를 충족시킬 수 있도록 잘 갖춰져 있습니다. 이 최첨단 증착 장비는 단결정 실리콘, 저마늄, 탄소, 다이아몬드 등 많은 재료의 고품질 필름을 생산할 수 있습니다. 이 제품은 정확한 프로세스 제어, 다양한 열 프로세스, 엄격한 균일성 제어 기능을 갖추고 있습니다. AMAT 생산자 GT3는 직경 10 cm, 높이 20 cm 인 공정 챔버 (process chamber) 로 설계되어 다양한 어플리케이션에 적합한 사용자 정의가 가능합니다. 열전달 장비 (efficient thermal transfer equipment) 는 품질 필름 증착을 달성하는 데 중요한 일관된 기판 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. 이 원자로는 또한 다양한 사전 프로그래밍 가능한 프로세스를 제공하여, 사용자가 최고의 제어를 위해 필름 증착을 구체화 할 수 있습니다. 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 얻기 위해 GT3은 기판 평면 내에 Rapid Thermal Anneal 시스템을 통합하여 재료 레이어 사이의 원치 않는 스트레스를 최소화합니다. 이 원자로 장치에는 또한 AMAT 특허를받은 아크 컨트롤 기술 (Arc Control Technology) 이 장착되어 있으며, 일반적인 CVD 프로세스보다 낮은 온도에서 우수한 예금을 달성하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Producer GT3는 고급 기판 증착에 사용되는 것 외에도, 전력 반도체 장치 개발을위한 III-V 재료를 포함하여 광범위한 재료를 수용하도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 전극 바이어싱을위한 최첨단 컨트롤 (state-of-the-art control) 을 특징으로하며, 이는 고성능 재료 개발에 중요합니다. GT3에 존재하는 브로드 이온 소스 (Broad Ion Source) 는 두 개의 다른 재료를 동시에 증착 할 수 있습니다. 이것 은 전기 장치 의 생산 에 특히 유용 한데, 이 "에너지 '는 두 가지 재료 의 결합 으로 우월 한 결과 를 가져올 수 있다. 또한, 원자로에는 난방 도체 각도 정류 기어 (Heating Conductor Angle Rectification Gear) 가 장착되어 기판의 난방 임피던스를 정확하게 조작 할 수 있습니다. 생산자 GT3는 신뢰할 수있는 성능과 수많은 맞춤형 기능을 제공하는 고급 화학 증기 증착 원자로입니다. 광범위한 열 공정, 고급 전극, 엄격한 균일 제어 (uniformity control) 를 통해 GT3는 품질 필름 증착을 추구하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.