판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9412145

AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자 GT 원자로는 반도체 장치에서 데이터 스토리지에 이르기까지 다양한 응용 분야를 위해 성장하는 박막을위한 PVD (Advanced Physical Vapor Deposition) 장비입니다. 이 시스템은 고출력 전자원과 퇴적층 (deposited layer) 의 뛰어난 균일성을 갖춘 업계에서 가장 강력하고 고급 PVD 시스템 중 하나입니다. 이 시스템은 진공 밀봉 챔버, 컴포넌트 구획, 전자 소스, 원격 제어 부품 및 정교한 제어 장치로 구성됩니다. 챔버는 플랫폼, 가스 박스 및 가스 라인 (gas line) 이있는 스테인리스 스틸 챔버로 구성됩니다. 구성 요소 구획에는 전자 총과 프로브를 포함하는 전자 소스가 있습니다. 전자 총 은 집중 된 전자 흐름 을 내뿜어 내는데, 이것 은 약실 내 에 "플라즈마 '를 만들고 퇴적 물질 을 기화 시킨다. "프로브 '는 전자 의" 에너지' 와 공간 분포 를 조절 하여 고품질 의 얇은 층 을 증착 시킨다. 컴포넌트 구획은 진공 고정 인클로저 (vacuum tight enclosure) 로 둘러싸여 있어 유지 보수가 용이합니다. 방에 연결된 진공 펌프는 챔버를 원하는 압력으로 대피시키고 누출 조임 (leak tightness) 을 제어합니다. 약실 을 유지 하고 제어 하기 위하여 한 쌍 의 열전대 와 "피라니 '" 게이지' 가 연결 되어 "약실 '내부 의 압력 을 측정 한다. 기계 에는 또한 정교 한 제어 도구 (control tool) 가 있는데, 이 도구 를 사용 하면 증착 과정 을 정확 하게 제어 할 수 있습니다. 에셋은 유연한 계층 (Hierarchical) 메뉴 구조를 사용하여 배치 매개변수를 모니터링하고 제어합니다. 이를 통해 사용자는 배치 프로세스를 특정 요구사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다 (영문). 제어 모델에는 증착 레시피 (deposition recipe) 를 저장할 수 있으며, 여러 개의 박막 증착 시퀀스를 빠르고 편리하게 준비 할 수 있습니다. AMAT Producer GT는 사용 및 유지 관리가 용이하며, 표준 진단 및 문제 해결 도구를 사용할 수 있습니다. 이 장비는 또한 전문가 수준의 모니터링 소프트웨어 (monitoring software) 와 팀을 이루어 사용자에게 증착 프로세스에 대한 실시간 정보를 제공합니다. 이 시스템을 사용하면 안정적이고 일관성 있는 박막 (Thin Film) 증착을 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 PVD 업계의 선두 업체이며, 고품질 박막 증착을위한 안정적이고 일관된 방법을 제공합니다. 이 제품은 계층적 메뉴 구조, 광범위한 진단/문제 해결 도구, 전문가 수준의 모니터링 소프트웨어의 유연성, 뛰어난 균일성 (unifority) 및 고출력 전자원 (high-power electron source) 을 제공합니다.