판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9400028

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 반도체 제조에 사용되는 스핀 온 유전체 증착 원자로입니다. 정밀도, 균일성, 신뢰성이 필요한 다양한 어플리케이션을위한 높은 종횡비, 두꺼운 재료 필름 (film of material) 의 빠른 스핀 온 유전체 증착을 가능하게하는 1 단계 장비입니다. 원자로는 Ar, N2 또는 He와 같은 비 반응성 비활성 가스 운반체를 갖는 저압 공정을 이용한다. 결과 증착층은 균일하고 신뢰성이 높습니다. 증착은 화학 반응을 통해 형성된 반응성 '전구체' 물질의 생성에 기초한다. 원자로 (reactor) 는 매우 낮거나 매우 높은 증착률을 제공하도록 설정 될 수 있으며, 광범위한 단계 적용 범위 및 필름 프로파일 제어 (film profile control) 를 제공합니다. 또한 라이너 증착을 최소화하는 고급 (advanced) 기능이 포함되어 있으므로 총 처리 시간이 크게 단축됩니다. 이 시스템은 다중 구역 증착실, 실리콘 카바이드 인테리어 지원 구조 (Silicon Carbide Interior Support Structure), 반응성 가스 전달 장치 및 고정밀 스핀 온 유전체 증착 메커니즘을 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 이 기계는 완전히 자동화된 턴키 (turn-key) 프로세스를 제공하여 비용 효율적이고 안정적인 필름 레이어 증착을 가능하게 합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 프로세스 매개변수를 조절하는 다양한 옵션과 함께 뛰어난 단계 커버리지 (Step Coverage) 및 필름 프로파일 제어 (Film Profile Control) 를 제공하도록 설계되었습니다. 챔버 인테리어는 여러 개의 가스 포트, 진공 센서, 고도의 정밀 증착 메커니즘으로 증착 균일성 및 안정성에 최적화되었습니다. 실리콘 카바이드 인테리어 지원 구조 (Silicon Carbide Interior Support Structure) 는 최대 2250 ° C의 온도를 견딜 수 있도록 설계되었으며, 얇은 필름이 표면 오염없이 퇴적됩니다. 반응성 가스 전달 도구 (reactive gas delivery tool) 는 챔버에서 반응물을 정밀 전달하기 위해 여러 개의 전달 채널을 제공하여 일관되고 신뢰할 수있는 증착 과정을 보장합니다. 자산에는 고급 데이터 획득 및 분석 포털이 장착되어 있어 두께 (thickness), 증착률 (deposition rate), 입자 크기 (particle size) 등 프로세스의 다양한 매개변수에 대한 상세한 보고 기능을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 프로세스를 쉽게 모니터링하고 제어하여 고품질 필름 (film) 증착을 보장할 수 있습니다. AMAT 생산자 GT (AMAT Producer GT) 는 강력하고 신뢰할 수있는 원자로 플랫폼으로, 다양한 크리티컬 어플리케이션에 대해 매우 정밀한 박막 재료를 증강합니다. 이 모델은 필름 레이어 두께, 서피스 거칠기 (surface roughness), 프로파일 제어 (profile control) 및 기타 프로세스 매개변수를 단단히 제어하여 재료를 빠르고, 안전하며, 안정적으로 배치해야 하는 사용자에게 이상적인 솔루션입니다.