판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9399904

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 최첨단 CVD 프로세스를 위해 설계된 고성능 원자로입니다. 뛰어난 균일성과 생산성을 갖춘 다양한 기판, 재료를 제공합니다. 원자로는 선택적 쿼츠 라이너 (quartz liner) 가있는 배치 모드 탄소 소스를 특징으로하며, 프로세스 전체에서 더 많은 생산성과 더 큰 균일성을 가능하게합니다. 이 장비는 또한 열량이 적은 튜브 설계 (low thermal mass tube design) 를 특징으로하여보다 균일 한 온도 프로파일을 허용합니다. 정확하게 조절 가능한 방사형 분포 매니 폴드 (radial distribution manifold) 는 사이클 전반에 걸쳐 재료의 균일 한 증착을 보장하여 제품 수율을 향상시킵니다. AMAT 프로듀서 GT (AMAT Producer GT) 는 또한 고압 인사이트 가스 믹싱 (in-situ gas mixing) 과 같은 여러 가지 고급 기능을 제공하여 여러 가스를 단일 실행으로 처리 할 수 있습니다. 이것은 가스 압력을 줄이고, 질량 처리량을 높이고, 재료 균일성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 원자로는 고온 증착 (high temperate deposition) 도 가능하며 온도 보관 시스템을 통해 공정 상태를 지속적으로 모니터링하고있다. 이 장치에는 자동화 된 프로세스 제어 루프 (automated process control loop) 가 포함되어 있으며, 고급 현장 가스 혼합과 함께 프로세스 반복성과 신뢰성이 크게 향상됩니다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 또한 전문 제어 소프트웨어 및 안전 시스템 제품군을 사용합니다. 이러한 제어 시스템은 프로세스 상태를 적극적으로 모니터링하며, 운영자와 장비 (장비) 의 안전을 보장하도록 설계되었습니다. DeltaV 자동화 시스템에는 프로세스 제어, 레시피 관리, 닫힌 루프 제어 및 배치 관리 소프트웨어가 포함됩니다. 여기에는 통합 프로세스 데이터 로깅 및 보고 기능도 포함되어 있으며, 운영자에게 프로세스 성능에 대한 실시간 정보를 제공합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS/Producer GT Reactor는 유연성, 반복성 및 신뢰성을 제공하여 장치 품질 및 생산 생산성을 향상시키는 고급 CVD 프로세스 도구입니다. 이 도구의 기능과 기술은 CVD 프로세스 분야의 선두 주자입니다. 생산 수준 반도체 공정 개발에 이상적인 도구입니다.