판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9394900

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 다양한 기판에 박막을 입금하는 데 사용되는 일종의 고 진공 증착 장비입니다. 이 "시스템 '은 매우 다양 한 금속, 중합체 및 유전체 를 퇴적 시키는 데 사용 될 수 있다. 이 장치는 진공실, 소스 재료, 기판 처리 기계 및 공정 제어 도구로 구성됩니다. 진공실은 박막 증착이 발생하는 곳이며, 일반적으로 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 베이스 플레이트, 셔터 어레이, 가스 유통 자산, 소스 공급, 진공 모델 등 다양한 구성 요소가 장착되어 있습니다. 소스 재료는 소스 공급 장치 내부에 보관되어 셔터 어레이 (shutter array) 를 통해 기판에 전달됩니다. 기판 처리 장비 는 "기판 '을 한 방 에서 다른 방 으로 옮기는 데 사용 되며, 평판" 기판' 과 "웨이퍼 '를 모두 처리 할 수 있다. 기질은 일반적으로 증착 될 수있는 통제 된 환경을 제공하는 산화 저항성 기질 마운트 (oxidation resistant 기질 마운트) 에 배치된다. 또한, 기판 처리 "시스템 '에는 양산용" 셔터' 배열 을 상대적 으로 정확 하게 배치 할 수 있는 정렬 장치 가 갖추어져 있다. 프로세스 제어 머신 (process control machine) 은 증착 프로세스를 제어하고 챔버에서 발생하는 프로세스를 모니터링하는 데 사용됩니다. 공구는 온도와 압력, 재료 흐름 속도 (material flow rate) 와 같은 진공실 (vacuum chamber) 내의 상태를 지속적으로 모니터링하는 자동 제어 자산으로 설계되었습니다. 공정 을 감시 함 으로써, "모델 '은 증착 과정 을 정확 하게 조정 하여 원하는" 필름' 을 만들어 낼 수 있다. 이 장비에는 수동 조정을위한 컨트롤 보드도 장착되어 있습니다. AMAT Producer GT는 다양한 박막 제작에 사용되는 안정적이고 견고한 시스템입니다. 이 다재다능 한 용지 는 여러 가지 재료 와 함께 사용 되어, 박막 을 여러 가지 기판 에 증착 시킬 수 있다. "깨어라!" 공정 제어기 (process control machine) 를 사용하면 증착 과정을 정확하게 조정하여 매우 균일하고 반복 가능한 필름을 만들 수 있습니다. 또한, 기판 처리 도구 (substrate handling tool) 는 대량 증착 실행을 위해 웨이퍼와 기판을 정확하게 정렬하여 박막 생산에 이상적인 자산으로 만들 수 있습니다.