판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9394898

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 9394898
Systems Process: Frontier etcher.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT (Generation Two) 장비는 주로 여러 기판 크기로 다중 구성 변형에서 정확한 박막 층의 증착에 사용되는 분자빔 에피 택시 (MBE) 원자로입니다. 이 시스템은 열, 전자 빔, 화학 빔 및 이온 빔 보조 증착 (IBAD) 에 의존하여 고성능 박막 생산을위한 강력한 도구입니다. 이 장치의 스테인리스 스틸 진공 챔버 (Stainless Steel Vacuum Chamber) 는 최대 8 인치 직경의 기판과 최대 10 인치 길이의 홀더를 모두 수용하도록 설계되었습니다. 펌핑 속도는 최대 1x103mbar입니다. 티타늄 승화를 갖춘 표준 4 인치 돔 쇼어 헤드 소스는 재료 특성화를위한 원자 증기 증착을 제공합니다. AMAT 생산자 GT는 4 개의 열 발열 세포, 3 개의 Mo/Be 소스 및 2 개의 전자 빔 증발기를 가지고 있으며 다양한 증착 기술에 유연성을 제공합니다. 1 개의 셀은 총검 히터로 뒷받침되어 온도를 1000 ° C까지 설정할 수 있습니다. 이 모델에는 소스 수명을 연장하는 데 도움이되는 UHV (Ultra High Vacuum) Cyrogenic Insulation 옵션도 포함되어 있습니다. 원자로는 또한 빔 믹서 (beam mixer) 를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 진공 실에 도입되기 전에 금속 촉매 나 도펀트의 증기를 혼합 할 수 있습니다. 기계의 빔 믹스 (beam-mix) 경로에 재료를 주입함으로써, 사용자는 원하는 박막 (thin film) 을 선택적으로 입금하기 위해 재료 반응성을 조작할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 도구가 더욱 다양해지고 다양한 복합 화합물을 만들 수 있습니다 (영문). 에셋에는 기판의 빠른 전송을 위해 설계된 별도의 로드 락 챔버 (load-lock chamber) 도 제공됩니다. 4 인치 및 8 인치 웨이퍼 범위의 표준 기판 크기는 빠르고 쉽게 처리 할 수 있습니다. 추가 샘플 홀더도 제공됩니다. 마지막으로, 모델에는 49 포인트 온챔버 샘플 회전 및 가스 입구 기능이 포함되어 있으며 APPLIED MATERIALS Producer GT는 일체형 MBE 장비입니다. 생산자 GT (Producer GT) 는 다양한 기판에 정확한 박막 증착을 용이하게하도록 설계된 고성능 분자빔 에피 택시 시스템입니다. 여러 증착 기술과 반응성 조작을위한 빔 믹서 (beam mixer) 가이 장치는 복잡한 화합물 생산에 큰 유연성을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 고품질 박막을 빠르고 쉽게 제작하려는 고객에게 이상적인 머신입니다.
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