판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9383833

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 실리콘 함유 필름의 증착에 사용되는 고급 고성능 가스 원자로입니다. 전자 레인지 기술을 사용하여 웨이퍼 수준에서 직접 증기 반응 지대 (VRZ) 를 생성하여 트랜지스터 성능 향상, 작동 비용 절감을 제공합니다. 이 시스템은 챔버 (chamber), 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 및 전원의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 챔버는 AMAT Producer GT의 중심입니다. 두 개의 구획으로 구성되어 있습니다. 상단 부분, 반응 챔버 (reaction chamber) 에는 웨이퍼를 배치하는 냉각 된 서셉터가 있습니다. 하부 인 "펌프 '실 에는 기계적 인 부품 들 이 있는데, 이것 은 원자로 의 안전 한 작동 에 필요 하다. 내부 원자로 껍질은 석영 (Si-O2) 재료로 만들어졌으며, 이는 챔버 내부의 플라즈마 환경에 이상적입니다. 가스 전달 시스템은 챔버 내의 가스를 운송합니다. 가스 공급과 배기의 두 가지 가스 라인으로 구성됩니다. 공급선은 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller), 격리 밸브 (Isolation Valve) 및 가스 흐름을 빠르고 정확하게 제어 할 수있는 도관으로 구성됩니다. 배기선은 부산물을 끌어내고 반응성 영역을 유지합니다. APPLIED MATERIALS Producer GT의 전원은 고전력 고주파 마이크로파 발전기입니다. 발전기는 플라즈마를 효율적으로 흥분시켜 증착 균일성을 향상시키고 도펀트 변동성을 줄입니다. 생산자 GT 원자로는 매우 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리 및 향상된 트랜지스터 성능을 제공합니다. 최첨단 기술과 구성 요소를 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 웨이퍼 제작에 이상적인 선택입니다.