판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9353809

ID: 9353809
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2015
CVD System, 12" Process: Frontier etcher 2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 얇은 필름을 반도체 기반 재료에 증착하도록 설계된 특수 원자로입니다. 에칭, 산화, 착상, 코팅, 패턴, 증착 등 다양한 산업 및 연구 응용 분야에 사용됩니다. 이 다용도 (versatile) 툴은 고객의 구체적인 요구에 맞춘 다양한 프로세스를 제공할 수 있습니다. 자동화된 장비는 작동이 쉽고 안정성이 뛰어나 최고의 성능과 품질 (품질) 을 보장합니다. AMAT Producer GT는 단일 웨이퍼, 공정 제어 및 화학적으로 호환 된 도구로, 최적의 박막 형성과 필름 매개변수의 정확한 제어를 가능하게합니다. 첨단 프로세스 최적화 시스템 (Advanced Process Optimization System) 이 장착되어 있어 다양한 애플리케이션에 대한 최적의 처리 조건을 쉽게 설정할 수 있습니다. 이 장치는 일관성 (Consistent Quality) 과 신뢰성을 보장하기 위해 높은 반복성과 정밀도를 지닌 박막 (Thin Film) 을 생산하기 위해 자동화될 수 있습니다. 이 도구는 최대 5cm/min 속도의 단일 웨이퍼에서 최대 9 개의 레이어를 처리하도록 구성할 수 있습니다. 이 도구는 또한 2 인치에서 6 인치까지 다양한 기판 크기를 처리 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산자 GT 원자로는 실리카, 실리콘, 유리, 알루미늄 및 기타 금속을 포함한 다양한 기질에 대해 고정밀도, 균일 한 박막 증착을 제공 할 수 있습니다. 이 도구 는 광범위 한 화학 물질 을 사용 할 수 있기 때문 에, 거의 모든 종류 의 물질 을 가공 할 수 있다. 그렇다. 또한, 기계는 가변 압력 챔버 (variable pressure chamber) 를 갖추고 있으며, 사용자는 개선 된 박막 특성을 위해 환경을 조정할 수 있습니다. 이 챔버는 주변 또는 저온 증착 공정에 대해서도 조정할 수 있습니다. 또한 고유한 오버레이 정밀도 도구 (overlay accuracy tool) 가 제공되며, 이를 통해 예측 가능한 오버레이 성능을 갖춘 균일한 박막 (thin film) 이 가능합니다. 이렇게 하면 장치 특성이 설계 요구사항에 지정된 특성과 일치하게 됩니다. 또한, 이 도구에는 오염 위험을 줄이는 낮은 입자 환경 (low particle environment) 이 장착되어 있습니다. 생산자 GT (Producer GT) 는 다양한 기능을 갖춘 고급 툴로, 사용자가 원하는 처리 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 운영 효율성, 안정성, 다용도 구성을 통해 박막 증착 (Thin Film Deposition) 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.
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