판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9352398

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 견고한 고 처리량 플라즈마 에치 원자로입니다. 이 장비는 AST (Advanced Source Technology) Process Module을 사용하여 다양한 etch 프로세스에 대한 신속한 전환 및 통합을 지원합니다. 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 는 광범위한 웨이퍼 크기에 걸쳐 높은 에치 레이트와 균일성에 최적화되어 있습니다. 이 시스템은 전체 그릇에 균일성을 제공하는 빠른 Turbo Plasma (TP) 발전기로 구동됩니다. AMAT Producer GT는 최첨단 모션 제어 기능 및 자동화된 프로세스 모니터링을 통해 매우 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공합니다. 장치 기능에는 고정밀도, 양방향 동작 제어 및 웨이퍼 처리 (wafer handling) 가 포함되어 있어 고화질 및 단단히 제어 된 플라즈마 프로세스 단계를 사용할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS 생산자 GT (APPLIED MATERIALS Producer GT) 에는 고급 현장 엔드포인트 기능이 장착되어 있어 중요한 프로세스 단계에 대한 예측 프로세스 제어가 가능합니다. 생산자 GT는 Penta-tube Viewport (Penta-Tube Viewport) 를 통해 시간이 많이 소요되는 웨이퍼 로드 및 언로드를 제거하여 웨이퍼 처리를 관찰하는 데 소요되는 시간을 크게 줄일 수 있습니다. Penta-View Port는 다양한 각도에서 웨이퍼 작업을 관찰할 수 있는 넓은 보기 영역을 제공합니다. 웨이퍼는 역할 외 축을 따라 배치되어 있어 시야각이 양호합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 산업 등급의 생산을 위해 설계되었으며 특허를받은 Substrate Shield Technology에서 완전히 봉인 된 도구 구조를 특징으로합니다. 이 기능은 내부 플라즈마 환경을 잠재적 인 오염 또는 소진으로부터 효과적으로 분리합니다. 이 기계는 또한 고급 원격 유지 관리 도구 (Advanced Remote Maintenance Tool) 를 통해 원격 진단 및 효율적인 수리를 지원합니다. AMAT Producer GT는 통합 CDA 자산을 갖추고 고급 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 또한 APPLIED MATERIALS Producer GT는 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하기 위해 APPLIED MATERIALS HSIGI (High-Speed Internal Gas Insulation) 기술을 제공합니다. 이를 통해 프로세스 결과를 균일하고 제어할 수 있습니다. 또한 다중 지점 온도 제어 (multi-point temperature control) 및 모니터링 (monitoring) 기능을 통해 구성 전반에 걸쳐 정밀하고 일관된 온도를 보장합니다. 생산자 GT는 강력하고, 안정적이며, 효율적인 에치 (etch) 원자로로, 반도체 소자 제조에 최적의 프로세스 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 운영 확장 (scale-up) 및 프로세스 전송에 이상적이며, 상당한 시간 절약 및 프로세스 개선을 제공합니다. 이 장비는 매우 반복 가능한 결과를 제공하며, 고급 프로세스 모듈, 동작 제어 (motion control) 및 엔드포인트 (endpointing) 기능을 조합하여 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.